走査プローブ顕微鏡装置

開放特許情報番号
L2011004293
開放特許情報登録日
2011/8/26
最新更新日
2018/1/23

基本情報

出願番号 特願2008-527707
出願日 2007/7/19
出願人 国立研究開発法人科学技術振興機構
公開番号 WO2008/015916
公開日 2008/2/7
登録番号 特許第5095619号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 走査プローブ顕微鏡装置
技術分野 機械・加工、その他
機能 検査・検出、表面処理、その他
適用製品 走査プローブ顕微鏡装置。
目的 機械的Q値が低い環境においても安定に振動し、かつ、カンチレバーとサンプルの相互作用に対して高い感度を持つ走査プローブ顕微鏡装置を提供すること。
効果 振幅が安定した信号発生器の信号によってカンチレバーに他励振動を誘起するので、カンチレバーのQ値が低くても振動の振幅を安定させることができ、試料の撮像を高精度で行う走査プローブ顕微鏡に利用可能である。
技術概要
走査プローブ顕微鏡装置は、試料に機械的振動子を作用させて試料の撮像を行う装置で、第1の制御器と、第1の制御器に接続される、試料のXYZスキャナ及びXY走査画像化システムと、信号発生器と、信号発生器に接続される振動励起手段と、振動励起手段からの出力信号により強制振動する機械的振動子と、機械的振動子の振動を検出する振動検出手段と、振動検出手段に接続される位相差検出手段と、位相差検出手段からの位相差信号を入力するとともに、第1の制御器と信号発生器に周波数制御信号を出力する第2の制御器とを備える。信号発生器から機械的振動子の共振周波数付近の周波数の駆動信号を発生させ、振動励起手段に入力し、機械的振動子を強制振動させ、位相差検出手段からの位相差を一定の値に維持するように制御することによって、試料の撮像を行う。機械的振動子がカンチレバーとする。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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