表面に微小金属塊が整列した基板の製法

開放特許情報番号
L2011004284
開放特許情報登録日
2011/8/26
最新更新日
2018/1/23

基本情報

出願番号 特願2008-512059
出願日 2007/4/4
出願人 国立研究開発法人科学技術振興機構
公開番号 WO2007/122998
公開日 2007/11/1
登録番号 特許第5313664号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 表面に微小金属塊が整列した基板の製法
技術分野 電気・電子、化学・薬品、金属材料
機能 機械・部品の製造、その他
適用製品 金属ナノ構造体
目的 大きさや形状の制御された0価の金属塊を基板表面に整列させた金属ナノ構造体及びその製法を提供することを目的とする。
効果 金属ナノ構造体作成フィルムは、材質や形状を選ぶことなく任意の基板上に広範な領域にわたって金属ナノドット・ナノシリンダーを形成することが可能となり、ナノエレクトロニクスやプラズモニクスを支える基盤材料及び基盤技術を提供する。
技術概要
両親媒性ブロック共重合体と所望の金属イオンを含有する溶液を用いて成膜するか、又は両親媒性ブロック共重合体のミクロ相分離膜を作製後、金属イオンを含む溶液に接触させることにより、ミクロ相分離膜の親水性の微小径のシリンダーに金属イオンが局在化することを見出した。このようにして作製されたミクロ相分離膜の還元処理及び該ミクロ相分離膜を含む有機物の除去処理を行なうと、親水性の微小径のシリンダーに局在していた金属イオンは還元され、ミクロ相分離膜が除去されて、基板上にドットやシリンダー状の0価の金属塊が形成される。このようにして、基板上に、略円柱状若しくは略球状又はこれらを組み合わせた形状の、但し、該円柱は該表面に対して略垂直方向に配向する、0価の金属塊が一定間隔で多数整列した基板を得ることができる。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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