変位計測方法及び変位計測装置

開放特許情報番号
L2011003864
開放特許情報登録日
2011/8/12
最新更新日
2011/8/12

基本情報

出願番号 特願2007-260276
出願日 2007/10/3
出願人 国立大学法人 長崎大学
公開番号 特開2009-092387
公開日 2009/4/30
発明の名称 変位計測方法及び変位計測装置
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 変位計測方法、変位計測装置
目的 レーザ光によりスキッド成分を検出できる、いわゆる光スキッド光学系を用いた変位計測方法及びその変位計測装置の提供。
効果 非接触式でスキッド成分のみを測定することができる。例えば変位計測装置の送り振動成分、非照射面のうねり成分を含むスキッド成分を精度良く検出することができる。
技術概要
この技術では、変位計測方法は、レーザ光による発散光を、1/4波長板、及び被照射面の手前で焦点を結ぶ対物レンズを通して被照射面に照射し、被照射面で反射し、対物レンズ及び1/4波長板を通過した戻り光を用いて、スキッド成分を検出するものとする。また、変位計測方法は、第1のレーザ光による発散光を、第1の1/4波長板、及び被照射面の手前で焦点を結ぶ第1の対物レンズを通して被照射面に照射し、被照射面で反射し、第1の対物レンズ及び第1の1/4波長板を通過した第1の戻り光を用いてスキッド成分を検出し、第2のレーザ光による平行光を、第2の1/4波長板、及び被照射面上で焦点を結ぶ第2の対物レンズを通して被照射面に照射し、被照射面で反射し、第2の対物レンズ及び第2の1/4波長板を通過した第2の戻り光を用いてスタイラス成分を検出し、スキッド成分とスタイラス成分を演算するものとする。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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