4元組成比傾斜膜の作成方法及び2元組成比・膜厚傾斜膜の作成方法

開放特許情報番号
L2011003808
開放特許情報登録日
2011/8/12
最新更新日
2018/1/5

基本情報

出願番号 特願2005-503668
出願日 2004/3/12
出願人 国立研究開発法人科学技術振興機構
公開番号 WO2004/083481
公開日 2004/9/30
登録番号 特許第4214279号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 4元組成比傾斜膜の作成方法及び2元組成比・膜厚傾斜膜の作成方法
技術分野 化学・薬品
機能 材料・素材の製造
適用製品 4元組成比傾斜膜、2元組成比・膜厚傾斜膜
目的 4元物質全ての組成比が0から100%まで変化した4元組成比傾斜膜の作成方法の提供。
効果 4元物質全ての組成比が0から100%まで変化した4元組成比傾斜膜が作成できる。また、組成比傾斜と膜厚傾斜を兼ね備えた2元組成比・膜厚傾斜膜を作成できる。
技術概要
この技術では、4元組成比傾斜膜の作成方法は、矩形状の4元組成比傾斜膜を作成する際に、矩形の直交する二辺方向の座標をx、yとし、4元物質をそれぞれA,B,C,Dとし、物質A,B,C,D各々のモル数をzとしたときに、物質A,B,C,Dの各々のモル数分布が、z=xy、z=x(1−y)、z=(1−x)(1−y)、及びz=y(1−x)で表される各々の膜を積層することを特徴とする。また、2元組成比・膜厚傾斜膜の作成方法は、2元組成比傾斜膜であり、かつ、2元組成比傾斜膜の各組成比において膜厚が傾斜した矩形状の膜を作成するに当たって、矩形の直交する二辺方向の座標をx,yとし、2元組成物質をそれぞれA,Bとし、物質A,Bの各々のモル数をzとしたときに、物質A,Bの各々のモル数の分布が、z=xy、z=x(1−y)、z=(1−x)(1−y)、及びz=y(1−x)で表されるモル数分布の内、z=xyとz=(1−x)(1−y)との組み合わせを除いた、互いに異なる任意の2つの分布の膜を組み合わせて積層するものとする。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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