試料の光励振機能を有するヘテロダインレーザドップラー干渉計を用いた試料の特性の測定装置

開放特許情報番号
L2011003792
開放特許情報登録日
2011/8/12
最新更新日
2015/11/3

基本情報

出願番号 特願2005-153340
出願日 2005/5/26
出願人 独立行政法人科学技術振興機構
公開番号 特開2005-274585
公開日 2005/10/6
登録番号 特許第4244347号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 試料の光励振機能を有するヘテロダインレーザドップラー干渉計を用いた試料の特性の測定装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 ヘテロダインレーザドップラー干渉計、試料の特性の測定装置
目的 構成が簡単で、的確な試料の光励振機能を有するヘテロダインレーザドップラー干渉計を用いた試料の特性の測定装置の提供。
効果 高周波帯域において、試料としての3次元構造物の周波数特性の正確な評価を行うことができる。励振と検出をともに光で行うことにより、装置の機械部分の単純化、小型化とそれに伴う信頼性の向上と装置の高清浄化を図ることができる。
技術概要
この技術では、試料の光励振機能を有するヘテロダインレーザドップラー干渉計を用いた試料の特性の測定装置において、信号処理部は、ディジタイザーに接続される位相シフターと、この位相シフターに接続されるフィルターと、このフィルターに接続されるとともに、レーザダイオードドライバーの出力側に接続される増幅器とを備える。またヘテロダインレーザドップラー干渉部は、He−Neレーザと、レンズと、このレンズに接続される偏波面保存ファイバと、レーザ出射部とを含み、原子間力顕微鏡試料ステージ制御部は、LOに接続されるDBMと、このDBMへ接続されるコントローラと、このコントローラに接続され試料を駆動するピエゾ素子を含む。そして、レーザダイオードの出力光を、He−Neレーザのヘテロダインレーザドップラー干渉計の計測光に重畳させ、それを偏波面保存ファイバに導入し、レーザ出射部を経て試料に照射する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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