III族元素窒化物単結晶の製造方法およびそれに用いる反応容器

開放特許情報番号
L2011003735
開放特許情報登録日
2011/8/12
最新更新日
2015/10/30

基本情報

出願番号 特願2004-076129
出願日 2004/3/17
出願人 独立行政法人科学技術振興機構
公開番号 特開2005-263535
公開日 2005/9/29
登録番号 特許第4398762号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 III族元素窒化物単結晶の製造方法およびそれに用いる反応容器
技術分野 化学・薬品
機能 材料・素材の製造
適用製品 窒化ガリウム、GaN、窒化アルミニウム、AlN、III族元素窒化物の単結晶
目的 透明で転位密度が少なく高品位であり、かつバルク状の大きなIII族元素窒化物の単結晶を収率良く製造可能な製造方法の提供。
効果 高品位であり、かつ大きく透明なバルク状のIII族元素窒化物の単結晶を高収率で製造できる。
技術概要
この技術では、III族元素窒化物単結晶の製造方法は、アルカリ金属を含むフラックス中において、Ga、AlおよびInからなる群から選択される少なくとも一つのIII族元素と窒素(N)とを反応容器中で反応させることによりIII族元素窒化物単結晶を成長させる製造方法であって、反応容器として、その材質が、(A)および(B)の少なくとも一方の材質である反応容器を使用する製造方法である。(A)融点若しくは分解温度が2100℃以上の窒素非含有材質。(B)希土類酸化物、アルカリ土類金属酸化物、W、SiC、ダイヤモンドおよびダイヤモンドライクカーボンからなる群から選択される少なくとも一つの材質。希土類およびアルカリ土類金属としては、例えばSc,Y,La,Ce,Pr,Nd,Pm,Sm,Eu,Gd,Tb,Dy,Ho,Er,Tm,Yb,Be,Mg,Ca,Sr,Ba,Raがあげられる。反応容器の材質としては、Y↓2O↓3、CaO、MgOおよびWからなる群から選択される少なくとも一つであることが好ましい。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

登録者名称 国立研究開発法人科学技術振興機構

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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