振動研磨方法およびその装置

開放特許情報番号
L2011003682
開放特許情報登録日
2011/8/5
最新更新日
2015/10/30

基本情報

出願番号 特願2003-331511
出願日 2003/9/24
出願人 独立行政法人科学技術振興機構
公開番号 特開2005-096016
公開日 2005/4/14
登録番号 特許第4702765号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 振動研磨方法およびその装置
技術分野 機械・加工
機能 表面処理、機械・部品の製造
適用製品 振動研磨装置
目的 微小回転工具の限界を超えて、より微小な非球面への仕上げに適応でき、工具の微小化が容易で加工圧の制御も容易な振動研磨方法およびその装置を提供する。
効果 工具を回転する必要がないので、工具の微小化が可能となって、修正研磨できる限界径を限りなく小さくでき、超音波振動により加工面に供給された液体中の砥粒が分散して、より効果的に超精密加工が可能となる上に、加工圧の制御も容易となる。
技術概要
微小な曲面形状を有する工作物表面に非回転工具を押し付けて工作物表面を研磨するとともに工作物における表面加工形状を測定し、その測定結果に基づいて非回転工具を制御して、工作物における表面加工形状を修正する研磨方法である。微小な曲面形状に軟質の非回転工具を被加工面に法線方向から一定圧力で押し付けながら加工面に対して平行な方向に非回転工具を超音波振動させ、さらに、超音波振動をしている非回転工具に円運動又は楕円運動を付与しながら、工具と加工面との接触部に砥粒を分散させた液体をかけて研磨する。振動研磨方法に使用する振動研磨装置は、振動研磨装置が、工作物の加工面の表面加工形状を測定する測定手段と、測定手段の測定結果に基づいて、非回転工具を制御する制御手段と、非回転工具に工作物の加工面と平行に超音波振動を付与する超音波振動付与手段と、超音波振動付与手段の振動子の先端に設置した軟質の非回転工具を被加工面に法線方向から一定圧力で押し付ける圧力付与手段と、非回転工具に円運動、楕円運動を付与する運動付与手段と、非回転工具と工作物の加工面の接触部に砥粒を分散させた液体をかける研磨剤噴射手段とを備えた振動研磨装置である。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 工作物における表面加工形状を測定し、その測定結果に基づいて前記非回転工具の走査速度を制御して、工作物における表面加工形状を修正することにより、加工中のフィードバック機能によって、工具の滞留時間と研磨量の適正な制御により、より高精度の超精密加工が可能となる。
改善効果2 非回転工具に与える超音波振動に円運動または楕円運動を付与することにより、超音波振動方向に交差する方向にも工具の走査が行われてより滑らかな表面加工が可能となる。
アピール内容 当ライセンス情報は、独立行政法人科学技術振興機構の『研究成果展開総合データベース(J−STORE)』に掲載中の情報をもとに作成したものです。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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