汚染物質排出機能を備えた循環式液体ヘリウム再液化装置、その装置からの汚染物質排出方法、その装置に使用する精製器およびトランスファーチューブ

開放特許情報番号
L2011003638
開放特許情報登録日
2011/8/5
最新更新日
2015/10/2

基本情報

出願番号 特願2003-025525
出願日 2003/2/3
出願人 独立行政法人科学技術振興機構
公開番号 特開2004-233020
公開日 2004/8/19
登録番号 特許第4145673号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 汚染物質排出機能を備えた循環式液体ヘリウム再液化装置、その装置からの汚染物質排出方法、その装置に使用する精製器およびトランスファーチューブ
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 汚染物質排出機能を備えた循環式液体ヘリウム再液化装置、その装置に使用する精製器およびトランスファーチューブ
目的 液体ヘリウム貯留槽から気化したヘリウムガスを循環ポンプで汲み上げて精製器で精製し、再び液化した後、液体ヘリウム貯留槽に循環利用できる液体ヘリウム再液化システムにおいて、精製器にヒータを取り付け、汚染物質が所定量以上蓄積されると、ヒータによって精製器を加熱し、蓄積された汚染物質を気化し、気化した汚染物質を装置内のポンプを利用して大気に放出する長期間連続運転が可能な、循環式液体ヘリウム再液化装置およびその装置からの汚染物質排出方法を提供する。
効果 精製器を加熱することにより精製器に蓄積された汚染物質を気化し、気化した汚染物質を装置内の循環ポンプを利用して大気に放出することにより、循環式液体ヘリウム再液化装置の長期間の連続運転を可能としている。また、液体ヘリウム貯留槽で気化したヘリウムガスを全量回収し、再凝縮して液化する、再循環システムに好適な効率のよい精製器を提供することができる、また、一定流量制御弁の代わりに複数の切替弁等を使用することにより、装置全体を安価に製造することができる。
技術概要
図1は循環式液体ヘリウム再液化装置の構成図、図2は装置内で使用する精製器の構成図、図3は装置内で使用するトランスファーチューブの断面図、図4は精製器に設けたヒータの制御ブロック図、である。コールドボックス3内の凝縮ポット4、冷凍機5とデュワー2とを接続する流路(回路)には、複数の流路を一体に構成したトランスファーチューブTを使用し、第1精製器6A、第2精製器6Bおよび凝縮ポット4にはヒータが付設され、汚染物質を除去する時等に各ヒータを作動させることができる。また、第1精製器6A、第2精製器6Bへの流入側回路には、それぞれチャッキ弁CV3、CV4、電磁弁EV2、電磁弁EV3を介してマスフローメータMF5が接続され、さらにこのマスフローメータ5には排気ポンプ8が接続される。なお、チャッキ弁CV3、CV4の上流側を合流して一つの回路とし、チャッキ弁CV3、CV4および電磁弁EV2、EV3を夫々一つの弁とすることが可能であり、さらに合流箇所をチャッキ弁CV3、CV4の下流側にすることも可能であり、それらの選択は設計時に自由に選定することができる。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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