ヘリウムガス精製器のヒータ制御器および制御方法

開放特許情報番号
L2011003630
開放特許情報登録日
2011/8/5
最新更新日
2015/10/29

基本情報

出願番号 特願2003-015581
出願日 2003/1/24
出願人 独立行政法人科学技術振興機構
公開番号 特開2004-226020
公開日 2004/8/12
登録番号 特許第3645550号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 ヘリウムガス精製器のヒータ制御器および制御方法
技術分野 機械・加工、電気・電子
機能 機械・部品の製造、加熱・冷却
適用製品 ヘリウムガス精製器のヒータ制御器
目的 精製器内で固化した汚染物質が、ある一定以上大きくなったとき、精製器に取り付けたヒータを自動的に加熱し、汚染物質が気体にならない程度まで暖めて液化し、精製器下部に汚染物質を貯留できる精製器を提供する。
効果 精製器内に汚染物質が蓄積し、精製器内の圧力が高まると、自動的にヒータを加熱し、さらに、ヒータの温度が汚染物質の気化温度から一定の温度以下になるとヒータの加熱を停止し、ヒータの温度が所定の温度にまで低下すると再びヒータを加熱するという作動を一定圧力以下になるまで、あるいは指定した時間まで繰り返して固化した汚染物質を気化させることなく全量液化して回収することで、系内に再び汚染物質が混入することを防止できる。またヘリウムガス内に混入した汚染物質を確実に除去することができる。
技術概要
図1は精製器のヒータ制御器の構成図、図2は精製器のヒータの加熱状態の説明図である。この精製器では汚染物質が精製器内で蓄積し、精製器内の圧力が所定圧力P1にまで高まると、圧力設定器21からの指令により第1リレースイッチ24がONとなり常時閉じている第2リレースイッチ25を介してヒータ26の加熱が開始される。そして図2に示すようにヒータ26の温度が予め設定した温度T1(汚染物質が気化しない温度)になると温度設定器22からの指令により第2リレースイッチ25がOFFとなってヒータ26の加熱が停止される。ヒータ26の温度がT2(汚染物質が固化しない温度)にまで低下すると、この時の精製器内の圧力が所定値以内(圧力設定器内の圧力がP1とP2との間)にあるときには再び第2リレースイッチ25をONにしてヒータ26を加熱する。そして精製器内の圧力(圧力設定器内の圧力)がP1とP2との間にある間は第2リレースイッチがON、OFFを繰り返しヒータを断続的に加熱し、精製器内で固化した汚染物質を液化し精製器内の液溜まりに回収する。そして、精製器内の圧力がP2以下に低下すると第1リレースイッチがOFFとなり、初期状態に復帰する。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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