マイクロレンズアレイの成形型の研削方法およびその装置

開放特許情報番号
L2011003609
開放特許情報登録日
2011/8/5
最新更新日
2015/10/2

基本情報

出願番号 特願2002-317191
出願日 2002/10/31
出願人 独立行政法人科学技術振興機構
公開番号 特開2004-148454
公開日 2004/5/27
登録番号 特許第3938540号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 マイクロレンズアレイの成形型の研削方法およびその装置
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 マイクロレンズアレイの成形型の研削に適用する。
目的 工作物と研削砥石を特定に回転駆動させるように制御する等の手段を備えるマイクロレンズアレイの成形型の研削方法を提供する。
効果 マイクロレンズアレイ成形型を高精度に、良好な表面粗さに、良好なピッチ精度に精密研削することができる。
技術概要
工作物1を工作物スピンドル4に取り付け、その工作物スピンドル4の回転軸に対して直角または傾斜させて設置した研削スピンドル3に設けた研削砥石2を工作物1に押しつけ、更に、工作物スピンドル4の回転軸と研削砥石2による工作物1側の加工痕の中心との距離を一定に保ちつつ、工作物1の加工痕の回転と研削砥石2の駆動軌跡が一致するように同期させながら研削砥石2を制御して回転するとともに、同時に加工痕に切り込みを与えるようにして工作物1上に凹面の球面形状の穴を研削するマイクロレンズアレイの成形型の研削方法にする。穴加工は、工作物1の位置を変えて一連の動作を複数回繰り返すことにより、複数の凹面で構成されるように行い、また、研削砥石2は、工作物スピンドル4の回転軸と研削スピンドル3の回転軸がなす角が直角の場合は、円盤状または球状のいずれか一つを用いて研削し、なす角が45度の場合は、円柱状または楕円体状または球状のいずれか一つを用いて研削するのが好ましい。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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