検出器一体型の軸受機構およびこれを備えたアクチュエータ

開放特許情報番号
L2011003577
開放特許情報登録日
2011/8/5
最新更新日
2015/10/2

基本情報

出願番号 特願2002-109289
出願日 2002/4/11
出願人 独立行政法人科学技術振興機構
公開番号 特開2003-301855
公開日 2003/10/24
登録番号 特許第3948998号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 検出器一体型の軸受機構およびこれを備えたアクチュエータ
技術分野 電気・電子、機械・加工
機能 制御・ソフトウェア
適用製品 簡便な操作で得られ、工作機械や精密測定器等の分野で広く利用される。
目的 可動部材の移動量を高い精度で測定することが可能な検出器一体型の軸受機構およびこれを備えたアクチュエータを提供する。
効果 検出器一体型の軸受機構およびこれを備えたアクチュエータを用いて、より高精度な機構系を実現することができる。
技術概要
0.04×10↑−↑6/K以下の低熱膨張係数を有した低熱膨張ガラスにより形成されているとともに、軸受案内を形成した内面を有する筒状の軸受部16と、0.04×10↑−↑6/K以下の低熱膨張係数を有した低熱膨張ガラスにより形成されているとともに、軸受部に挿通され軸受案内により直線的に移動自在に支持されたスライダ18と、このスライダに直接作り込まれ軸受案内に対向する被検出部と、軸受部の外側で被検出部に対向して設けられ、被検出部に基づきスライダの移動量を測定する検出器と、を備え、軸受部は、軸受案内の内面に開口した複数の給気孔22と、供給孔から軸受案内とスライダ外面との間に加圧空気を供給しスライダを非接触で支持する給気手段と、を備えている検出器一体型の軸受機構12である。尚、検出器一体型の軸受機構と、軸受機構の軸受部に支持されたスライダを移動させる直動型の駆動部と、を備えた、アクチュエータ10を製造する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT