目的
振動体の共振周波数の検出感度を高く保ったまま、周波数検出範囲を広げることが可能な振動体の周波数検出装置、原子間力顕微鏡、振動体の周波数検出方法およびプログラムの提供。
効果
入力信号の周波数の範囲が、予め定める周波数範囲の上限または下限、たとえば高感度で検出することができる上限または下限に達したときに、基準信号の周波数を変化させることによって、高感度で検出することができる範囲を移動することができるので、振動体の共振周波数の検出感度を高く保ったまま、広い周波数検出範囲で検出することができる。
技術概要
本技術は、振動体が振動する周波数を検出する振動体の周波数検出装置であって、制御信号に応じた周波数で発振する基準信号を生成し、生成した基準信号と振動体の振動による変位量を表す入力信号とを合成した合成信号を生成部で生成する。生成部が生成した合成信号の周波数に応じた周波数で発振する発信信号を生成し、生成した発信信号と合成信号との位相差を検出し、検出した位相差に基づいて振動体の周波数を示す出力信号を発信部で出力する。発信部が出力する出力信号が示す周波数が、予め定める周波数範囲の上限以上または下限以下となったとき、発信部が出力する出力信号が示す周波数が予め定める周波数範囲の上限未満かつ下限よりも高い周波数となるように基準信号の周波数を変化させる制御信号を生成部に出力する振動体の周波数検出装置である。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
