走査型プローブ顕微鏡及びそのプローブ近接検出方法

開放特許情報番号
L2011003392
開放特許情報登録日
2011/7/22
最新更新日
2015/6/18

基本情報

出願番号 特願2011-519892
出願日 2010/6/21
出願人 国立大学法人京都大学
公開番号 WO2010/150756
公開日 2010/12/29
登録番号 特許第5733724号
特許権者 国立大学法人京都大学
発明の名称 走査型プローブ顕微鏡及びそのプローブ近接検出方法
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 シアフォース方式でプローブ先端と試料表面との距離を制御
目的 複数のプローブの相対距離を精度良く制御することができる走査型プローブ顕微鏡及びそのプローブ近接検出方法の提供。
効果 第1及び第2プローブを走査する際に一方のプローブに特定周波数の振動を付与し、両プローブの特定周波数の振動を監視するようにした。そして、両プローブのうちの少なくとも一方において特定周波数の振動が変化したことに基づき、両プローブが近接したことを検出するようにしたので、第1及び第2プローブの走査時に両プローブが衝突することを未然に防ぐことができる。
技術概要
本技術は、試料表面との距離を一定に保持しながら試料上を走査する第1及び第2プローブを有する走査型プローブ顕微鏡であって、試料に対して相対的に第1プローブを走査する第1走査手段と、試料に対して相対的に第2プローブを走査する第2走査手段とを有し、第1プローブ及び第2プローブのいずれか一方に振動付与手段にて特定周波数の振動を付与する。第1プローブ及び第2プローブの特定周波数の振動を振動監視手段にて監視する。第1プローブ及び第2プローブの少なくとも一方の振動が変化したことに基づき第1プローブと第2プローブが互いに近接したことをプローブ近接検出手段にて検出する。プローブ近接検出手段の検出結果に基づき第1及び第2走査手段を制御手段にて制御する。ここで、第1プローブは、1本に限らず複数本の場合を含む。同様に、第2プローブも1本又は複数本の場合を含む。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【有】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【有】   
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