炭化珪素単結晶の製造方法及び製造装置

開放特許情報番号
L2011003207
開放特許情報登録日
2011/7/15
最新更新日
2011/7/15

基本情報

出願番号 特願平11-123228
出願日 1999/4/28
出願人 昭和電工株式会社
公開番号 特開2000-319098
公開日 2000/11/21
登録番号 特許第4597285号
特許権者 昭和電工株式会社
発明の名称 炭化珪素単結晶の製造方法及び製造装置
技術分野 化学・薬品、機械・加工
機能 機械・部品の製造、材料・素材の製造
適用製品 炭化珪素単結晶の製造装置
目的 成長方向における結晶欠陥の密度及びばらつきが小さく、格子歪の無い、しかも大口径かつ安定した品質の炭化珪素単結晶を、安定した条件下で連続的に製造することができる炭化珪素単結晶の製造方法及び製造装置を提供する。
効果 溶融または気化した珪素原料を、反応系の外方から珪素原料が気化する温度以上に加熱された炭素原料中に導入するので、炭素原料に対する珪素原料の供給量を所要量に制御することができ、反応ガス中の各成分の比を一定に保つことができる。したがって、成長方向における結晶欠陥の密度及びばらつきが小さく、しかも安定した高品質の炭化珪素単結晶を成長させることができる。
技術概要
図1は炭化珪素単結晶の反応装置を示す断面図、図2は要部拡大断面図、図3は炭化珪素単結晶の反応装置の変形例を示す概略構成図、である。ルツボ21は、有底筒状の黒鉛製のルツボ本体31と黒鉛製の蓋板32により構成され、このルツボ本体31内には、ガスが通る貫通孔33が多数形成された炭素板34が水平に配置され、炭素板34の上及びルツボ本体31の底部には炭素粉粒体を堆積した炭素層35がそれぞれ配置されている。原料容器22は、原料となる珪素41を貯留・加熱し、溶融状態で保温するためのもので、周囲には珪素41を加熱・保温するための黒鉛ヒーター42が配置され、原料容器22及び黒鉛ヒーター42は熱遮蔽のための炭素繊維製の断熱材43で覆われる。珪素導入管23の一方の先端部23aには、融液あるいはガス状の珪素41の漏洩を防止するために密度の高い封止材である炭素繊維フェルトのパッキング材53が嵌め込まれ、この先端部23aはルツボ本体31の底部に設けられた炭化珪素製のスパージャー54に、パッキング材53を介して珪素導入管23と同じ材質のナット55により締結される。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【改善】
改善効果1 溶融状態もしくは気化した状態の珪素原料を、ルツボ内に貯留された炭素原料に直接導入することができ、成長方向における結晶欠陥の密度及びばらつきが小さく、格子歪の無い安定した高品質の炭化珪素単結晶を、安定した条件下で連続的に製造することができる。

登録者情報

登録者名称 昭和電工株式会社

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【有】   
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