顕微分光測定シミュレーション法

開放特許情報番号
L2011002824
開放特許情報登録日
2011/6/17
最新更新日
2016/10/7

基本情報

出願番号 特願2011-067482
出願日 2011/3/25
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2012-202808
公開日 2012/10/22
発明の名称 顕微分光測定シミュレーション法
技術分野 情報・通信
機能 その他
適用製品 顕微光学計測
目的 顕微分光計測、特に、顕微ラマン計測を用いた応力(歪み)計測過程をシミュレートする方法を提供する。
効果 従来は不可能であった、顕微ラマン散乱測定などで、偏光方向の違いの効果等をシミュレートできるようになり、測定結果をより正確にシミュレートできるようになる。この結果、Siデバイス中の応力分布効果をより高い精度で評価することが可能となる。
技術概要
歪みテンソルの値をラマンシフトに単純に変換するのではなく、電磁場解析と組み合わせて顕微分光計測過程をシミュレートすることにより、偏光方向依存性等、より精密なシミュレートを可能にしたことを特徴とする。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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