機能性基板の製造方法および機能性基板、並びに半導体装置

開放特許情報番号
L2011002732
開放特許情報登録日
2011/6/17
最新更新日
2012/7/27

基本情報

出願番号 特願2006-166581
出願日 2006/6/15
出願人 国立大学法人 熊本大学
公開番号 特開2007-027703
公開日 2007/2/1
発明の名称 機能性基板の製造方法および半導体装置の製造方法
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 半導体装置、ヒートシンク
目的 基板内に放熱などの機能領域を簡単な工程で形成することができる機能性基板の製造方法、および少量の機能性材料により所望の特性を得ることができ、放熱部材などとして好適な機能性基板の提供。
効果 この技術の機能性基板の製造方法によれば、衝撃波を用いるようにしたので、簡単な工程で機能性材料の粉末を基板に埋め込み、機能領域を形成することができる。また、この技術の機能性基板によれば、基板内に、衝撃波を用いて形成された機能領域を有するので、機能領域での機能性材料の含有量の分布が調整可能となっている。よって、機能性材料としてダイヤモンド粉末を選択することにより少量の機能性材料で機能領域の熱伝導性を飛躍的に高め、半導体装置の放熱部材等として利用することができる。
技術概要
この技術の機能性基板の製造方法は、所定の厚みを有する基板の表面に機能性材料の粉末を配置する工程と、衝撃波を与えることにより機能性材料を基板の表面から厚み方向の少なくとも一部に埋め込んで基板内に機能領域を形成する工程とを含むようにしたものである。具体的には、アルミニウム等よりなる基板の上にダイヤモンド粉末を配置し、保護材で覆って封止する。これを爆薬と共に水中に設置し、爆薬の爆発により衝撃波を与える。ダイヤモンド粉末は高速に加速されて基板に衝突・貫通し、基板の表面から厚み方向の少なくとも一部に埋め込まれ、機能領域が形成される。得られた機能性基板は放熱部材などとして好適である。機能領域におけるダイヤモンド粒子の含有量の分布は調整可能であり、例えば、基板の表面から厚み方向に向かって次第に減少させれば、従来の鋳造や粉末どうしの混合などの高温を利用した製造方法では極めて困難であった非平衡な機能領域を実現することができる。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 国立大学法人熊本大学

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【有】   
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