プラズマ発生装置およびスペクトル制御方法

開放特許情報番号
L2011002729
開放特許情報登録日
2011/6/17
最新更新日
2011/6/17

基本情報

出願番号 特願2005-312739
出願日 2005/10/27
出願人 国立大学法人 熊本大学
公開番号 特開2006-156359
公開日 2006/6/15
発明の名称 プラズマ発生装置およびスペクトル制御方法
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 ナノスケールの微細加工のためのリソグラフィ用の光源、軟X線顕微鏡用の光源、プラズマ光源
目的 ピンチ放電方式を用いたプラズマ発生装置およびスペクトル制御方法であって、プラズマ発生に基づく放射光をより効率的に取り出すことが可能なプラズマ発生装置およびスペクトル制御方法の提供。
効果 この技術によれば、初期プラズマが生成される以前から所定の軸線に沿って磁場を印加すると共にこの印加磁場の強度を調整するようにしたので、プラズマの収縮速度を緩和させると共にその緩和の度合いを調整することができ、これにより収縮プラズマの最大収縮持続時間も調整できることから、プラズマ発生に基づく放射光をより効率的に取り出すことが可能となる。
技術概要
この技術のプラズマ発生装置は、初期プラズマを生成すると共にこの初期プラズマを所定の軸線上に収縮させることにより、収縮プラズマを発生させるプラズマ発生部と、初期プラズマが生成される以前から軸線に沿って磁場を印加する磁場印加部と、この磁場印加部により印加する磁場の強度を調整する磁場強度調整手段とを備える。そして、スペクトル制御方法として、初期プラズマを生成すると共にこの初期プラズマを所定の軸線上に収縮させることにより、収縮プラズマを発生させ、初期プラズマが生成される以前から軸線に沿って磁場を印加すると共に、この印加磁場の強度を調整することにより、収縮プラズマに基づく放射光のスペクトル特性を制御している。電磁力は磁束密度の2乗に比例することから、プラズマが収縮されるにつれてこの収縮方向とは逆向き(外向き)の電磁力が強まり、その結果、プラズマの収縮の度合い(収縮速度)が緩和され、収縮プラズマにおける最大収縮状態の持続時間(最大収縮持続時間)が長くなり、プラズマ発生に基づく放射光をより効率的に取り出すことが可能となる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 国立大学法人熊本大学

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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