位相シフト法による形状測定方法及び形状測定装置、並びに複素振幅計測方法及び複素振幅計測装置

開放特許情報番号
L2011002486
開放特許情報登録日
2011/5/20
最新更新日
2016/6/21

基本情報

出願番号 特願2009-107207
出願日 2009/4/25
出願人 国立大学法人宇都宮大学
公開番号 特開2010-256192
公開日 2010/11/11
登録番号 特許第5258052号
特許権者 国立大学法人宇都宮大学
発明の名称 位相シフト法による形状測定方法及び形状測定装置、並びに複素振幅計測方法及び複素振幅計測装置
技術分野 情報・通信、電気・電子
機能 検査・検出、制御・ソフトウェア
適用製品 簡便な操作で実施でき、位相シフトデジタルホログラフィ等の分野で広く利用される。
目的 外乱振動や空気の揺らぎがある場合であっても、高い測定精度で被測定物の形状測定を可能にする形状測定方法及び形状測定装置を提供し、更に、ドップラー効果を利用した位相シフト法による複素振幅計測方法及び複素振幅計測装置を提供する。
効果 外乱振動や空気の揺らぎがある場合であっても、測定精度を著しく向上させることができ、また、高価な大型装置も不要となり、操作性の悪化という問題も生じない。
技術概要
同一光源1から出射した可干渉光束11を分岐して被測定物7と参照鏡8とに照射し、被測定物で反射した物体光12と参照鏡で反射した参照光13とを重ね合わせ、得られた干渉縞データから被測定物の形状を測定する方法であって、被測定物と参照鏡との間に相対運動を生じさせ、相対運動によって変化した干渉縞の強度分布を連続的に撮像して連続撮像データを得るとともに、物体光と参照光の周波数がドップラー効果により変調することにより物体光と参照光の周波数差のスペクトルから位相シフト量に変換した位相シフトスペクトルを得て、位相シフトスペクトルと連続撮像データとから被測定物の3次元形状を計測する。尚、被測定物と参照鏡との相対運動は、被測定物又は参照鏡を照射光の光軸と平行に移動させて生じさせる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 宇都宮大学

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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