固体材料の水素分析方法及びその装置

開放特許情報番号
L2011002366
開放特許情報登録日
2011/5/13
最新更新日
2014/3/27

基本情報

出願番号 特願2009-166652
出願日 2009/7/15
出願人 国立大学法人福井大学
公開番号 特開2011-021976
公開日 2011/2/3
登録番号 特許第5445833号
特許権者 国立大学法人福井大学
発明の名称 固体材料の水素分析装置及びその方法
技術分野 電気・電子、金属材料、その他
機能 材料・素材の製造、検査・検出、その他
適用製品 不活性ガス中の金属等の固体材料にレーザーを照射することで発生するプラズマから固体材料に含まれる水素の濃度を分析する装置
目的 固体材料に含まれる水素以外の水素の影響をほぼ完全に除去して、固体材料に含まれる水素濃度の定量分析を正確に行うことができる水素分析方法及びその装置の提供を目的とする。
効果 プラズマが発生した領域の不活性ガスの圧力を周囲の雰囲気の圧力よりも高い圧力としたり、プラズマが発生した領域を前記雰囲気からチャンバで隔離することで、雰囲気中の水素がプラズマが発生した領域に侵入することがなく、固体材料に含まれる水素濃度を精度よく、かつ正確に分析することが可能になる。
技術概要
固体材料の水素分析方法は、固体材料表面の測定部位に不活性ガスを供給しつつレーザーを照射して測定部位にプラズマを発生させ、このプラズマの光から測定部位の水素を分析する。 固体材料表面の測定部位に不活性ガスを供給するガス供給工程と、測定部位に向けてレーザーを照射することで測定部位にプラズマを発生させるレーザー照射工程と、レーザー照射中においてプラズマから発せられる光を測定して、測定された水素の発光波長の発光強度に基づいて固体材料に含まれる水素濃度を分析する分析工程とを有する。 ガス供給工程では、少なくともプラズマが発生した領域における不活性ガスの圧力が、測定部位の周囲の圧力よりも高圧になるように不活性ガスを供給する。
イメージ図
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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