内面露光装置および内面露光方法

開放特許情報番号
L2011002139
開放特許情報登録日
2011/4/22
最新更新日
2012/10/18

基本情報

出願番号 特願2007-554839
出願日 2006/12/25
出願人 学校法人東京電機大学
公開番号 WO2007/083489
公開日 2007/7/26
登録番号 特許第5067757号
特許権者 学校法人東京電機大学
発明の名称 内面露光装置および内面露光方法
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 マイクロ部品製作・加工装置
目的 円筒、角筒等の内面に付着させた感光性物質を所定のパターンに感光する装置および方法を提供する。
効果 円筒状や角筒状等、中空の被露光物の内表面にリソグラフィを施して感光性物質のパターンを形成することが出来る。 筒状の部品等のマイクロ部品の製作・加工を高精度に出来る。 余分の付着物が付いたり、加工形状の縁に盛り上がりが出ることはない。 溶解蒸発させる方法に比べ、エネルギー量がはるかに小さくて済む。
技術概要
 
被露光物の内部空間内に挿入され露光光線を被露光物の内側に照射するガイドロッドと、被露光物とガイドロッドとの相対位置および相対角度を変更するステージを設け、露光光線の照射スポットの焦点合わせおよび露光開始位置合わせをした後に、露光光線を被露光物の所定の位置に照射し、被露光物の内面に付した感光性物質を所定のパターンに感光する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

アピール内容 ○PCT出願番号:PCT/JP2006/325808

登録者情報

登録者名称 東京電機大学

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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