基準微小ガス流量導入装置

開放特許情報番号
L2011001987
開放特許情報登録日
2011/4/8
最新更新日
2015/8/19

基本情報

出願番号 特願2011-012907
出願日 2011/1/25
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2012-154720
公開日 2012/8/16
登録番号 特許第5761706号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 基準微小ガス流量導入方法
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 真空容器内に、既知の微小流量を持つ、ガスを導入するための装置
目的 真空容器内に、既知の微小流量を持つガスを導入するための装置を提供する。
効果 本発明の装置一台で、ほぼあらゆるガス種の、既知の微小流量を持つガスを真空容器に導入できる、且つ、一次圧を変えることで、異なる既知の流量を容易に導入できる、且つ、混合ガスを使っても既知の流量のガスを導入できる、且つ、導入流量の温度依存性を理論的に補正できる、且つ、凝縮性・吸着性のある水蒸気やエタノール蒸気等のガスも同様に導入できる、ことが実現できた。
技術概要
微小孔フィルター、ガスリザーバ、ガス導入系、真空ポンプ、真空計、バルブ、配管から構成される装置で、分子流のコンダクタンスと分子流になる圧力を予め校正しておいた微小孔フィルターを用い、微小孔フィルターを通る気体の流れが分子流条件を満たす条件を保ちながら、真空装置にガスを導入することにより、本発明の装置一台で、ほぼあらゆるガス種において、既知の微小流量を持つガスを、真空容器に導入できる、且つ、一次圧力と流量の関係が線形なので、異なる流量を容易に発生できる、且つ、混合ガスを使っても既知の流量のガスを導入できる、且つ、温度依存性が理論的に補正できる、且つ、凝縮性・吸着性のある、水蒸気やエタノール蒸気等、これまで既知の流量のガスを導入することが困難であったガスも同様に導入できる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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