X線吸収端法による元素別定量分析方法及び元素別定量分析装置

開放特許情報番号
L2011001980
開放特許情報登録日
2011/4/8
最新更新日
2015/10/1

基本情報

出願番号 特願2011-009463
出願日 2011/1/20
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2012-150026
公開日 2012/8/9
登録番号 特許第5682918号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 X線吸収端法による元素別定量分析方法及び元素別定量分析装置
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、その他
適用製品 元素別定量分析方法、及び、該定量分析方法、元素別定量分析装置
目的 放射光装置(高エネルギー電子蓄積リング)等の大がかりな装置を用いることなく、比較的簡易な連続X線光源を用い、被測定物に含有される各元素の平均密度、全量等を非破壊で測定することのできる定量分析方法、及び、そのような定量分析方法を実施することのできる元素別定量分析装置を提供する。
効果 高エネルギーの電子蓄積リング等のような大がかりな装置を用いないので、分析装置全体を小型化することができる。
目的元素が希薄な場合には、X線光源強度の代わりに目的元素を含まない被測定物の基材等をブランクとして同一条件で測定して光源強度とすることにより、目的元素のみの吸収スペクトルが得られ、目的元素の感度を向上させることができる。
比較的小型の装置によって非破壊で被測定物の元素別定量が簡便に行えるので、材料、部材、デバイス等の開発や、各種製造プロセス等におけるin-situ測定を含む多様な測定に応用することができる。
技術概要
炭素系冷陰極電子源、チタンよりも原子番号の小さい導電性の軽元素からなり、冷陰極電子源から放出された電子が入射面に入射され、入射方向に対して前方にX線を放出するターゲット、及び、該ターゲットで発生したX線以外のX線を遮蔽する遮蔽部材を具備する連続X線光源と、エネルギー弁別型検出器とを用いて、被測定物のX線吸収スペクトルにおける含有各元素の吸収端ジャンプ量を求め、あらかじめ標準試料等で決定した元素別の質量吸収端ジャンプ係数と前記含有各元素の吸収端ジャンプ量に基づき、被測定物に含有される各元素について同時にX線透過経路上の面密度を測定することを特徴とする。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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