マイクロコイルの製作方法およびマイクロコイル

開放特許情報番号
L2011001854
開放特許情報登録日
2011/4/1
最新更新日
2013/7/19

基本情報

出願番号 特願2008-025716
出願日 2008/1/9
出願人 学校法人東京電機大学
公開番号 特開2009-160722
公開日 2009/7/23
登録番号 特許第5268135号
特許権者 学校法人東京電機大学
発明の名称 マイクロコイルの製作方法
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 マイクロコイル
目的 マイクロコイルの製作方法を提供する。超小型のインダクタンス要素部品やマイクロ電磁コイルに出来る。
効果 従来よりも露光ビームのスポットの大きさや形状を精度良く一定に保て、かつ、従来よりも露光ビームのスポットの位置を精度良く原材料とする金属マイクロパイプ上の所定の位置に置いて、該金属パイプの外表面に付したレジストを露光できるので、リソグラフィで形成する螺線レジストスペースパターンの線幅を均一にできる。
技術概要
 
外径が100μm以下の金属性のマイクロパイプの外表面にレジストを付する塗布工程と、マイクロパイプと露光ビームとの相対傾斜角、またはビーム照射方向の位置を調整する工程と、螺線状にマイクロパイプの外径の20倍以上の長さ区間に亘る露光工程と、マイクロパイプを現像液に浸漬、または流浸させてレジストの螺線スペースパターンを形成する現像工程と、前記工程を経て形成したレジストの螺線スペースパターンを有するマイクロパイプをエッチング液に浸漬、または流浸してレジストをエッチングマスクとして螺線スペースパターンの底部として露出したマイクロパイプを螺線状にエッチングし、完了する前に少なくとも1回、エッチング液を洗浄除去するリンスを行い、リンス液を除去したのち再びマイクロパイプをエッチング液に浸漬、または流浸してレジストをエッチングマスクとして螺線スペースパターンの底部として露出したマイクロパイプを螺線状にさらにエッチングし、マイクロパイプがマイクロコイルとなるまでエッチングとリンスとを適宜繰り返す工程とを含み、コイル化部分の長さを外径で除した値が20以上のマイクロコイルを製作する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 東京電機大学

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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