可撓材料の露光装置

開放特許情報番号
L2011001844
開放特許情報登録日
2011/4/1
最新更新日
2012/12/20

基本情報

出願番号 特願2008-238636
出願日 2008/8/21
出願人 学校法人東京電機大学
公開番号 特開2010-049222
公開日 2010/3/4
登録番号 特許第5105547号
特許権者 学校法人東京電機大学
発明の名称 可撓材料の露光装置および可撓材料の露光方法
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 マイクロ部品加工装置
目的 従来よりも微細な寸法のマイクロ部品、たとえば、マイクロねじ、マイクロスクリュー、マイクロナット、マイクロスプライン、マイクロスプリングなどを製作したり、従来よりも微細な表面溝加工を施したりすることができるようにする。
効果 従来の露光装置では、片持支持して撓んだ被露光材料を露光することになり、該被材料の外周または内周上の位置や片持支持端からの距離によって露光のされ方が変わり、現像後得られる感光性材料のパターン寸法が変化していたが、本発明では、被露光材料の外周または内周上のすべての場所が露光光学系に対して同じ相対位置条件で露光され、例えば、円柱状や円筒状の被露光材料の表面または内面を螺線状に露光すると、現像後得られる感光性材料のパターン寸法が円周上の角度位置や片持支持端からの距離によって変化せず、一定となる。
技術概要
 
感光性材料を付した外形が円形の断面を有し軸方向に長い可撓性の被露光材料の表面や内面を所望のパターン形状に露光する。 被露光材料を吸引保持して該被露光材料の軸方向の形状を直線に矯正する吸着ブロックと、前記被露光材料に軸回りの回転運動をさせるための回転ステージおよび/または該被露光材料に軸方向の移動運動をさせる移動ステージと、該被露光材料に付した前記感光性材料を露光するための光源を含む露光光学系を設け、前記吸着ブロック上で軸方向の形状を直線に矯正した前記被露光材料の部分を連続的または間欠的に露光する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 東京電機大学

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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