プラズマ生成装置及び方法

開放特許情報番号
L2011001839
開放特許情報登録日
2011/3/25
最新更新日
2017/2/17

基本情報

出願番号 特願2010-505962
出願日 2009/3/31
出願人 国立大学法人 琉球大学、国立大学法人佐賀大学
公開番号 WO2009/123243
公開日 2009/10/8
登録番号 特許第5463573号
特許権者 国立大学法人 琉球大学
発明の名称 プラズマ生成装置及び方法
技術分野 電気・電子
機能 安全・福祉対策、機械・部品の製造
適用製品 プラズマ生成装置
目的 長尺状細管内で無電極放電によりプラズマを生成し、長尺状細管内部でプラズマを用いた各種処理を行うためのプラズマ生成装置及び方法を提供する。
効果 長尺状細管の内部の圧力を、長尺状細管を収容する容器内の圧力より高い所定の圧力に調整し、かつ該長尺状細管の少なくとも一部に磁界を印加した状態で、長尺状細管を収容した容器内にマイクロ波を入射することで、該長尺状細管内にプラズマを生成でき、電極を用いない無電極放電を実現可能となる。この無電極放電は、電子サイクロトロン共鳴による放電であり、所定の気圧状態で、磁界の強さとマイクロ波の周波数が所定の関係にある場合に、マイクロ波によって、磁場中で電子が加速することにより発生する。
技術概要
両端が開口した長尺状細管9を収容可能であると共に、内部圧力を調整可能な容器1と、該長尺状細管9の少なくとも一部に磁界を印加する磁界印加手段8と、該容器内にマイクロ波を入射するマイクロ波供給手段2とを有し、該長尺状細管9の少なくとも一方の開口が該容器内に解放された状態で、該長尺状細管の内部の圧力を、該容器内の圧力より高い所定の圧力に調整し、かつ該長尺状細管の少なくとも一部に磁界を印加した状態で、該容器内にマイクロ波を入射することにより、該長尺状細管内にプラズマを生成するプラズマ生成装置である。該容器の内部圧力を調整する圧力調整手段は、容器内の圧力を1Pa以下に減圧することが可能なように構成されている。このプラズマ生成装置において、該長尺状細管は、滅菌対象物である。「滅菌」は、単に細菌を死滅させることを意味するだけでなく、ウイルスを死滅又は破壊したり、さらには蛋白質や脂質を無害化又は分解・除去することなども包含する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 長尺状細管に挿入又は取り付ける電極が全く無いため、長尺状細管の内部又は外部を損傷したり、二次汚染が発生することも無い。しかも、スパッタリングされた電極材料が長尺状細管に付着することも無く、極めて安全かつクリーンな状態でプラズマ処理を行うことが可能となる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【有】   
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