プラズマ処理装置、プラズマ処理方法およびプラズマ表面処理方法

開放特許情報番号
L2011001114
開放特許情報登録日
2011/2/25
最新更新日
2012/7/27

基本情報

出願番号 特願2008-525893
出願日 2007/7/19
出願人 国立大学法人名古屋大学
公開番号 WO2008/010537
公開日 2008/1/24
登録番号 特許第4973887号
特許権者 国立大学法人名古屋大学
発明の名称 プラズマ処理装置
技術分野 電気・電子、機械・加工
機能 機械・部品の製造、表面処理
適用製品 バルブ、シリンダー、ガイドブッシュ、金型穴部、内視鏡、ノズル
目的 装置内にプラズマを生成させて金属材料等の薄膜コーティングや表面処理を行う方法および装置において、筒状被加工部を有する部材の周辺の部材の形状を工夫することにより、筒内に高濃度のプラズマを発生させ、微小な口径の被加工部材の内面への表面処理等を可能とする方法および装置の提供。
効果 この技術によれば、筒内でプラズマに吸収されるマイクロ波の分量を増大させることができるため、筒内のプラズマを良好に発生させることができる。したがって、筒状被加工部を有する部材の筒内の表面処理を良好に行うことができる。
技術概要
この技術は、チャンバーと、マイクロ波を発生させるマイクロ波発生手段と、マイクロ波発生手段で発生したマイクロ波をチャンバー外部から内部に導入するマイクロ波導入手段と、チャンバー内に配置される筒状被加工部を有する部材にバイアス電圧を付与するバイアス電圧付与手段と、を備えるプラズマ処理装置において、マイクロ波導入手段と筒状被加工部を有する部材の間に配置され、マイクロ波導入手段によりチャンバー内に導入されたマイクロ波を筒状被加工部を有する部材の筒内に導入して、筒内でプラズマに吸収されるマイクロ波の分量を増大させるマイクロ波増大手段を備えることを特徴とする。この構成によれば、筒状被加工部を有する部材の筒内でプラズマに吸収されるマイクロ波の分量が増大されるため、筒内にプラズマを良好に発生させることができる。また、筒状被加工部を有する部材は、少なくとも一端が開口端となっており、マイクロ波増大手段は、筒状被加工部を有する部材の開口端の外側のマイクロ波を筒状被加工部を有する部材の内側に導入するように構成されている。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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