酸化物系熱電変換膜、及び酸化物系熱電変換膜の作製方法

開放特許情報番号
L2011001035
開放特許情報登録日
2011/2/25
最新更新日
2011/2/25

基本情報

出願番号 特願2004-246780
出願日 2004/8/26
出願人 国立大学法人名古屋大学
公開番号 特開2005-223307
公開日 2005/8/18
発明の名称 酸化物系熱電変換膜、及び酸化物系熱電変換膜の作製方法
技術分野 電気・電子、その他
機能 機械・部品の製造
適用製品 ゼーベック効果を利用した熱電発電、熱エネルギー変換システム、酸化物系n型熱電変換材料
目的 RE↓2CuO↓4系酸化物材料のREの一部をCe,Ba,Sr及びCaから選ばれる少なくとも一種の元素で置換する、あるいはCuの一部をNi及びZnの少なくとも一方で置換し、薄膜化することによって優れた熱電変換性能を有する熱電変換材料の提供。
効果 この技術の熱電変換材料は酸化物系であるので大気中で安定であり、また毒性の元素を含まない。したがって、特別な配慮を何ら行うことなく作製及び使用することができる。また、この熱電変換材料は薄膜であるために、その作製方法及び作製条件などを種々制御することによって、熱電変換薄膜を所定方向、特にはそのc軸が、形成すべき基板の主面に対して略垂直となるように配向させることができ、薄膜内に何ら異方性を生じないようにすることができ、その材料組成に起因した性能を高レベルに保持することができる。
技術概要
 
この技術の酸化物系熱電変換膜は、RE↓(2−X)M↓XCu↓1O↓(4−Y)(RE=La,Pr,Nd,Sm,Eu及びGdより選ばれる少なくとも一種の希土類元素、M=Ce,Ba,Sr及びCaから選ばれる少なくとも一種の元素、0<X<2,0≦Y<4)なる組成を有する。または、RE↓2Cu↓(1−X)Z↓XO↓(4−Y)(RE=La,Pr,Nd,Sm,Eu及びGdより選ばれる少なくとも一種の希土類元素、Z=Ni及びZnの少なくとも一種の遷移元素、0<X<1,0≦Y<4)なる組成を有する。このような酸化物系熱電変換膜は、所定の基板を準備し、この基板上に汎用の成膜技術を施すことによって形成することができ、用いる基板は、酸化物系熱電変換膜が所定の配向性を有するようにエピタキシャル成長できるものであれば特に限定されない。具体的には、酸化物系熱電変換膜の格子定数と近い格子定数を有するMgO基板又はSrTiO↓3基板を用いることができる。また、成膜技術としては、蒸着源の組成を膜組成に対して忠実に反映させることができるという観点から、レーザ蒸着法を用いることが好ましい。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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