出願番号 |
特願2003-403629 |
出願日 |
2003/12/2 |
出願人 |
国立大学法人 名古屋工業大学 |
公開番号 |
特開2005-161466 |
公開日 |
2005/6/23 |
登録番号 |
特許第4399589号 |
特許権者 |
国立大学法人 名古屋工業大学 |
発明の名称 |
ナノ複合構造体及びその製造方法 |
技術分野 |
無機材料 |
機能 |
材料・素材の製造 |
適用製品 |
ナノ複合構造体、準安定金属酸化物たる準安定アルミナよりなるナノ複合構造体、特定波長の光や電磁波に対するナノフィルターや導波路、ナノスケールの半導体回路 |
目的 |
超微粒子の製造方法としては、従来から各種の方法が知られているが、従来の超微粒子の製造方法の多くは、超微粒子を集合体(超微粉体)として得る方法であり、超微粒子や種々の構造を有するナノ複合構造体を得るものではなかった。また、超微粒子やナノ複合構造体を得る提案があったとしても、安定金属酸化物超微粒子や金属超微粒子に限られ、例えば準安定金属酸化物には適用できず、改良の余地が残されていた。そこで、準安定金属酸化物たる準安定アルミナより構成され、新規な構造を有するナノ複合構造体およびその製造方法を提供する。 |
効果 |
このナノ複合構造体は、準安定アルミナよりなり、また、ナノ複合構造体を構成する複数のナノワイヤ部のうちの2本以上が交差、結合し、二次元又は三次元構造を呈するものであり、ナノ複合構造体単体の物性研究のみならず、各種デバイスや機能材料等への応用、例えば、特定波長の光や電磁波に対するナノフィルターや導波路、ナノスケールの半導体回路等への応用に、大きく寄与し得る。また、このナノ複合構造体の製造方法は、その生成過程を制御して、準安定アルミナよりなる目的の形状、大きさを有するナノ複合構造体を製造することが可能である。 |
技術概要
|
このナノ複合構造体は、準安定アルミナよりなるナノ複合構造体であって、複数の所定長さのナノワイヤ部と、このナノワイヤ部の各々の先端に一体的に形成された複数のナノボール部とを有し、且つ、この複数のナノワイヤ部のうちの少なくとも2本以上が交差し、結合してなる。好ましくは、ナノワイヤ部が10〜200nmの長さを有していると共に、ナノボール部が5〜50nmの大きさを有しているナノ複合構造体である。このナノ複合構造体の製造方法は、準安定アルミナ粒子を溶媒中に混合せしめ、得られた混合液に対して、加熱しつつ超音波振動を加えて作製された、100個以上の準安定アルミナ粒子からなる粒子凝集体に対して、真空下において、8.0×10↑2↑0e/cm↑2 ・sec以上の強度の電子ビームを、1回以上フラッシュ照射せしめ、準安定アルミナと同質の準安定アルミナよりなるナノ複合構造体であって、複数の所定長さのナノワイヤ部と、このナノワイヤ部の各々の先端に一体的に形成された複数のナノボール部とを有し、且つ、この複数のナノワイヤ部のうちの少なくとも2本以上が交差し、結合しているものを形成することからなる。図は、ナノ複合構造体のTEM写真の一例である。 |
実施実績 |
【無】 |
許諾実績 |
【無】 |
特許権譲渡 |
【否】
|
特許権実施許諾 |
【可】
|