マイクロ・ナノパターン構造体及びその製造方法

開放特許情報番号
L2011000973
開放特許情報登録日
2011/2/18
最新更新日
2011/2/18

基本情報

出願番号 特願2003-403597
出願日 2003/12/2
出願人 国立大学法人 名古屋工業大学
公開番号 特開2005-161465
公開日 2005/6/23
登録番号 特許第4288347号
特許権者 国立大学法人 名古屋工業大学
発明の名称 マイクロ・ナノパターン構造体及びその製造方法
技術分野 機械・加工、電気・電子
機能 機械・部品の製造、表面処理
適用製品 マイクロ・ナノパターン構造体
目的 近年、超微粒子の如きマイクロスケール物質やナノスケール物質(マイクロ・ナノ物質)、或いは微細な文字、図形、回路等のマイクロパターンやナノパターン(マイクロ・ナノパターン)を形成することが、マイクロマシンの部品の製造や半導体回路のミニチュア化にとって重要であることが認識されてきている。 この発明は、超微粒子によって構成される連続的な超微細パターンが効果的に形成されてなるマイクロ・ナノパターン構造体と、それを有利に製造し得る方法の提供を目的とする。
効果 マスクが有する細隙や細孔に対応した、基板をも貫通する微細な貫通孔を備えた連続的な超微細パターンが、超微粒子により、マスクの形状等に応じた所望の形状において、効果的に形成されて、構成されており、以て、例えば分子、原子、細菌等のふるいや光フィルタ、電磁波フィルタ、光シャッタ等、微細な貫通孔を備えた連続的な超微細パターンを利用する超微細デバイスや超微細機能材料、超微細配線等として、極めて効果的に用いられ得ることとなる。
技術概要
マスクが有する細隙や細孔に対応した、基板をも貫通する微細な貫通孔を備えた連続的な超微細パターンが、超微粒子により、マスクの形状等に応じた所望の形状において、効果的に形成されて、構成されており、以て、例えば分子、原子、細菌等のふるいや光フィルタ、電磁波フィルタ、光シャッタ等、微細な貫通孔を備えた連続的な超微細パターンを利用する超微細デバイスや超微細機能材料、超微細配線等として、極めて効果的に用いられ得ることとなる。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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