ナノ気泡の判別方法及びその装置

開放特許情報番号
L2011000867
開放特許情報登録日
2011/2/18
最新更新日
2012/8/20

基本情報

出願番号 特願2007-293673
出願日 2007/11/12
出願人 国立大学法人長岡技術科学大学
公開番号 特開2009-121852
公開日 2009/6/4
登録番号 特許第5013320号
特許権者 国立大学法人長岡技術科学大学
発明の名称 ナノ気泡の判別方法及びその装置
技術分野 電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 半導体、液晶等のナノデバイスを製造する際に有用なナノ気泡の判別に適用する。
目的 原子間力顕微鏡を用いるナノ気泡の判別方法を提供する。
効果 確実にその他の異物から判別できるナノ気泡の判別方法が可能になる。
技術概要
先端に探針を有するカンチレバーを備えた原子間力顕微鏡を用いて、探針の先端を対象物の斜面に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位を測定し、探針が対象物の斜面と直交する向きにカンチレバーの先端が変位したときに対象物がナノ気泡であると判定するナノ気泡の判定方法にする(図1)。好ましくは、対象物の体積の経時変化を測定し、対象物の体積が減少したときに、更に、探針の先端を対象物に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位率を測定し、変位率が0.05N/m以下のときに対象物がナノ気泡であると判定するようにする。かくして、先端に探針を有するカンチレバーを備えた原子間力顕微鏡1からなり、探針の先端を対象物の斜面に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位を測定する変位測定手段3と、対象物の体積の経時変化を測定する体積測定手段4と、変位率測定手段5と、対象物がナノ気泡であると判定する判定手段2と、を備えたナノ気泡の判定装置が構成される(図2)。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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