振動測定装置及び振動測定方法

開放特許情報番号
L2011000852
開放特許情報登録日
2011/2/18
最新更新日
2012/7/27

基本情報

出願番号 特願2007-169543
出願日 2007/6/27
出願人 国立大学法人長岡技術科学大学
公開番号 特開2009-008508
公開日 2009/1/15
登録番号 特許第5004223号
特許権者 国立大学法人長岡技術科学大学
発明の名称 振動測定装置及び振動測定方法
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 自動車、建築物、音響機器等の共振振動、地震波等の微弱振動の測定に有用な振動測定装置に適用する。
目的 プローブ体、振動検出手段等から構成される振動測定装置を提供する。
効果 従来の共振型の振動計が共振周波数近傍しか測定できないのに比較して、幅広い振動周波数帯を測定できる振動測定装置が可能になる。
技術概要
例えば、一端をプローブ台4に固定し他端を自由端とした片持ち梁構造のプローブ体3と、このプローブ体3に所定の一定電位をバイアスする直流電源(バイアス部)と、この直流電源によって所定の一定電位にバイアスされたプローブ体3を外部電界若しくは外部磁界によって振動させる平行平板電極(振動部)1、2と、この平行平板電極1、2によりプローブ体3を振動させた状態で、外部からプローブ台4に機械的振動が印加された際、この機械的振動をプローブ体3の振動のうねりとして検出する差動増幅器(振動検出部)とから成る振動測定装置にする(図)。プローブ体として、Cu、Alなどの導電性材料、Si、Geなどの半導体材料、酸化膜、窒化膜等の誘電材料、BaTiO↓3等の強磁性体からなるものが用いられ、特に、銅細線等の細線状のものが好適に用いられ、また、振動検出部として、差動増幅器以外に、光学顕微鏡、光てこ方式によりプローブ体3の振動のうねりを測定して機械的振動を検出する振動検出部等が用いられる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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