無接触搬送装置

開放特許情報番号
L2011000834
開放特許情報登録日
2011/2/18
最新更新日
2011/2/18

基本情報

出願番号 特願2004-260801
出願日 2004/9/8
出願人 国立大学法人長岡技術科学大学
公開番号 特開2006-076690
公開日 2006/3/23
登録番号 特許第4168149号
特許権者 国立大学法人長岡技術科学大学
発明の名称 無接触搬送装置
技術分野 輸送
機能 機械・部品の製造
適用製品 無接触搬送装置
目的 フラットパネルディスプレイ用のマザーガラス基板や半導体ウエハ等の平板状物品を始めとする種々の搬送品を、完全に無接触として高度な清澄状態を保って搬送でき、浮揚の負荷容量が大きく搬送手段としての信頼性に優れ、搬送速度や方向の制御が容易で設計自由度も大きい無接触搬送装置を提供する。
効果 搬送品の浮揚力は放出口の密度及び口径と放出圧力によって調整できるから、理論的には適用する搬送品のサイズと重量に制約がなく、搬送手段としての信頼性に優れ、しかも弾性振動板に超音波振動を付与する空間的位置と駆動信号の時間的位相差の設定によって搬送速度や方向の制御を容易に行え、また可動部がないために高耐久性が得られる。
技術概要
無接触搬送装置は、搬送路1上で搬送品Pを下方から放出する流体Fの圧力によって浮揚させる流体圧浮揚手段と、搬送路1に沿って配設される環状の弾性振動板4とこの環状の弾性振動板4に超音波振動を与えて撓み進行波Wを励起させる励振アクチュエータ5、5とからなる複数のドライブユニットと、を備え、撓み進行波Wを励起している弾性振動板4と、この振動板4に対向した搬送品表面との間に発生する音響粘性流Sにより、搬送路1上で浮揚している搬送品Pを所定方向へ搬送する。環状の弾性振動板の一部の弧状部が搬送路上の搬送品表面に対向するように配置されている。更に、複数のドライブユニットにおける撓み進行波W伝播方向及び振動状態の調整により、搬送品の加減速及び発停と方向変換を可能とする。弾性振動板4が環状である場合、その一部の弧状部が搬送路1上で搬送品Pの表面と対向し得るように配置しておけば、撓み進行波Wの励起状態では該弧状部における撓み進行波Wの伝搬方向つまり音響粘性流Sの向きにより、搬送中の搬送品Pに対して加速作用と減速作用のいずれかを及ぼせる一方、定在波の励起状態では推進力を生起しない。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 環状の弾性振動板と励振アクチュエータとからなる複数のドライブユニットが搬送路に沿って配置される構成であるから、これらドライブユニットの配置仕様と、各ドライブユニットによる推進力の調整により、搬送品の搬送状態を種々設定できると共に、搬送路の設計の自由度も大きくなり、搬送ラインの延長、短縮、分岐、組み替え、拡張等にも容易に対処できる。また、ドライブユニット自体は極めてシンプルな形態であるため、低コストで容易に製作できると共に、推進機構部のユニット化で搬送装置全体の製作コストも低減される。
改善効果2 ドライブユニットが環状の弾性振動板と励振アクチュエータとからなることによって、これらの複数のドライブユニットの配置数と配置構成を異ならしめることによって、搬送品を搬送路上で無接触でコーナリングを行わせることができる。
改善効果3 ドライブユニットにおける環状の弾性振動板が、その一部の弧状部を搬送路上の搬送品表面に対向して配置することから、該弧状部における撓み進行波に伴う音響粘性流により、搬送品に対してスラスト方向の推進力を効率よく伝達できる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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