プラズマ発生装置及びそれを用いたプラズマ生成方法

開放特許情報番号
L2011000828
開放特許情報登録日
2011/2/18
最新更新日
2013/6/26

基本情報

出願番号 特願2008-505011
出願日 2007/2/17
出願人 国立大学法人 琉球大学
公開番号 WO2007/105411
公開日 2007/9/20
登録番号 特許第5239021号
特許権者 国立大学法人 琉球大学
発明の名称 プラズマ発生装置及びそれを用いたプラズマ生成方法
技術分野 電気・電子
機能 その他
適用製品 プラズマ発生装置
目的 プラズマ点火前後のキャビティ内のインピーダンス変化が少ない上、キャビティの形状に影響され難く、プラズマの着火性を改善したプラズマ発生装置及びそれを用いたプラズマ生成方法を提供する。
効果 アンテナ管に設けたスリットにより、励起電界を該スリット部分に集中させ、ガス流路管内を通過するガスを、該スリット部分で効率的にプラズマ化することが可能となる。しかも、励起電界はプラズマ点火前後においても、常にスリット部分で生じており、従来のようにプラズマ点火前後におけるインピーダンスの変化も抑制することが可能となる。
技術概要
プラズマ生成用のガス9を導入し、大気中に排出する非導電性のガス流路管1と、ガス流路管を取り巻く導電性アンテナ管2とを有し、アンテナ管にマイクロ波7を照射し、ガス流動管中のガスをプラズマ化するプラズマ発生装置において、アンテナ管2には、ガス流動管の管軸方向に沿って所定の長さのスリット3が形成されている。好ましくは、スリットの長さは、照射するマイクロ波の半波長の整数倍に設定されている。プラズマ発生装置において、スリットは、ガス流路管のガスを排出する側に開口端を有している。スリットは、アンテナ管の内部に形成されている。スリットは、スリットの一部がスリットの内側に突出した部分を有する。アンテナ管は、ガス流路管のガスを排出する側の端部が、ガス流路管に向かって折れ曲がっている。ガス流路管は複数本配置され、各ガス流路管毎にアンテナ管を備える。プラズマ発生装置を用いたプラズマ生成方法は、ガス流路管内の気圧を大気圧より低い気圧に保持し、マイクロ波を照射してプラズマを点火するプラズマ点火工程と、プラズマ点火工程の後に、ガス流路管内の気圧を大気圧状態とする大気圧工程とを有する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 プラズマの着火性を良好にすることができ、仮に、補助的な着火手段を有しない場合でも、ガス流路管に設置されたアンテナのみでプラズマを点火することが可能となる。プラズマ点火後は、大気圧においても安定的にプラズマを生成維持することが可能である。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【有】   
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