電子顕微鏡とその対物レンズ系収差特性の計測方法

開放特許情報番号
L2011000736
開放特許情報登録日
2011/2/10
最新更新日
2018/1/23

基本情報

出願番号 特願2008-513085
出願日 2007/4/25
出願人 国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号 WO2007/125652
公開日 2007/11/8
登録番号 特許第4942000号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 電子顕微鏡とその対物レンズ系収差特性の計測方法
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 走査透過電子顕微鏡
目的 対物レンズ系の収差特性を計測する新たな方法と、それに基づく装置の提供。
効果 ロンチグラムのフーリエ変換図形を計算し解析対象とする収差特性の計測方法は、これまでに報告された例が無く、本技術により初めてその有効性が示されるものである。本技術により、従来とは全く異なる、新規な収差特性の計測手法が提供される。
技術概要
本技術で提供される電子顕微鏡における収差の計測方法では、少なくとも1以上のロンチグラムを観察し、その少なくとも一カ所以上のフーリエ変換図形を計算し、その図形から収差を計測する。本技術で提供される電子顕微鏡では、計測した収差を表示する機能、その計測結果に基づき、電子顕微鏡の動作条件を調整する機能を有する。本技術の原理を利用するためには、ロンチグラムを観察する画像取得装置と、ロンチグラムのフーリエ変換図形を解析し収差を計算するための画像解析装置、計測した収差に基づき電子顕微鏡の動作条件を調整するための制御装置が必要である。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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