ナノ超薄膜誘電体とその製造方法及びナノ超薄膜誘電体素子

開放特許情報番号
L2011000731
開放特許情報登録日
2011/2/10
最新更新日
2018/1/23

基本情報

出願番号 特願2008-500468
出願日 2007/2/8
出願人 国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号 WO2007/094244
公開日 2007/8/23
登録番号 特許第5099710号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 コンデンサ及びその製造方法
技術分野 電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 高誘電率材料、コンピュータ、携帯電話
目的 ナノ領域においても高い誘電率と良好な絶縁特性を同時に実現し、かつ基板界面劣化、組成ズレの影響のない低温での素子作製を可能とする新しい技術手段の提供。
効果 本技術によれば、2次元ナノ構造体であるチタニアナノシートの有する、独自のナノ物性および高い組織、構造制御性を活用することで、ナノ領域においても高い誘電率と良好な絶縁特性を同時に実現することができる。又、従来の半導体製造行程における熱アニールによる基板界面劣化、組成ズレなどの問題を回避可能で、かつ様々な材料との融合が可能である。
技術概要
本技術のナノ超薄膜誘電体は、数原子の厚さを有するチタン酸化物のナノシート単体もしくはその積層体よりなる。ナノ超薄膜誘電体において、ナノシート単体の長さと幅が1μm〜1mmである。ここで、本技術におけるチタン酸化物のナノシート単体は、層状チタン酸化物を剥離して得られる。このものは、たとえば、高誘電率薄膜コンデンサの構成層となるチタニアナノシート(たとえばTi↓(0.87)O↓2)は、層状チタン化合物をソフト化学的な処理により結晶構造の基本最小単位である層1枚にまで剥離することにより得られる、2次元異方性を有するナノ物質である。組成式Ti↓(1−δ)O↓2(0<δ<0.5)で表されるチタニアを主成分とする数原子相当の厚さを有するナノシートとして例示される。数原子相当の厚さとは、0.3nm〜2.0nmの範囲の厚さをいう。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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