TiN基結晶体

開放特許情報番号
L2011000676
開放特許情報登録日
2011/2/10
最新更新日
2015/10/8

基本情報

出願番号 特願2008-131419
出願日 2008/5/20
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2009-280418
公開日 2009/12/3
登録番号 特許第4997541号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 TiN基結晶体ナノ粒子及びその製造方法
技術分野 無機材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 サーメット、電子素子、耐摩耗性、耐食、工具材料、半導体デバイス製作工程での拡散阻止膜
目的 本技術は、このような有用視されている窒化チタンが2次元的利用でしかなかったことに鑑み、三次元的な利用を可能にすることを研究し、成果として得られた新物質の提供。
効果 TiN結晶でありながら、正六面体ではない形状を持った結晶体を提供することができた。このような結晶形状は、新たな三次元的な利用を可能にするものである。また、その結晶体の中心部は、添加元素が認められない程に純粋なTiNであった。さらに、窒化チタンの3次元的構成体を作製するためには、窒化チタン結晶体の単位同士の接合ができれば容易である。
技術概要
この技術のTiN基結晶体は、6面体の角部が面取り状になった形状を有することを特徴とする。このTiN基結晶体において、添加元素が面取り部分を中心とした表面に偏在し、中心部には確認不能なほどに希薄であり、添加元素がSiである。90原子%Ti−10原子%Si合金を加熱・溶融,強制蒸発によりTiN基結晶体(Si含有)ナノ粒子の粉末X線回折をした結果,TiNのみのピークが認められ,Siは同定できなかった。同様に80原子%Ti−20原子%Siおよび70原子%Ti−30原子%Siは合金からのTiN基結晶体(Si含有)においてもTiNのみでSiピークは存在しなかった。なお、70原子%Ti−30原子%Siに見られる□のピークはTi↓2Nと推定される。この結果は,TiN中にSiが固溶したことを意味すると考えられる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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