熱膨張係数測定方法とその装置

開放特許情報番号
L2011000629
開放特許情報登録日
2011/2/10
最新更新日
2015/10/7

基本情報

出願番号 特願2007-340546
出願日 2007/12/28
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2009-162562
公開日 2009/7/23
登録番号 特許第5673908号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 熱膨張係数測定方法とその装置
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 熱膨張係数測定方法
目的 微小な区域の微小な歪みでも観察して、その熱膨張係数を測定できる方法とそれに用いる装置の提供。
効果 試料の僅かな歪みでも計測でき、大きな温度変化を与えることが困難な試料の熱膨張係数を正確に測定可能となる。また、電子線などの微小モアレ法を用いることにより、従来では観測不可能であってミクロン単位の局所における熱膨張係数を計測できるようになる。
技術概要
この技術では、温度差により生じる試料の歪みに基づく熱膨張係数測定方法は、試料本体に対して粒子線やエネルギー線が照射された時の二次電子発生量や反射電子量や反射光が、試料本体とは異なるグリッドを試料表面に形成してある試料に対して、粒子線やエネルギー線を照射し、二次電子発生量や反射電子量や反射光の違いにより観察できる電子線モアレ縞,CCDモアレ縞,光学的モアレ縞,走査レーザーモアレ縞等の各種モアレ縞を、試料の加熱あるいは冷却中とその前に観察し、観察した両モアレ縞を相互に比較して、試料に生じた歪みを計測するものとする。この熱膨張係数測定方法において、加熱若しくは冷却を試料の局部にて行い、当該箇所の歪みを計測する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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