結晶成長用基板とこれを用いた結晶成長方法

開放特許情報番号
L2011000609
開放特許情報登録日
2011/2/10
最新更新日
2015/10/7

基本情報

出願番号 特願2007-230370
出願日 2007/9/5
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2009-062216
公開日 2009/3/26
登録番号 特許第5403497号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 結晶成長用基板とこれを用いた結晶成長方法
技術分野 無機材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 結晶成長用基板、結晶成長方法
目的 結晶成長させる膜の大型化および低コスト化を可能にする結晶成長用基板の提供。
効果 この技術による結晶成長用基板は、基板と、基板上に位置するナノシート単層膜は、シートの水平方向にサブマイクロ〜マイクロメートルの広がりを有する二次元結晶であり、その面内には単結晶に匹敵する高い結晶性を有する。それ故に単結晶基板と同様な結晶成長を基材の材質によらずに達成することができる。よって基材として大型かつ安価なガラス基板、熱安定性の低いプラスチック基材等を採用することが可能となり、配向膜の大型化および低コスト化が可能となる。
技術概要
この技術では、結晶成長用基板は、表面にバッファ層が形成されてなる結晶成長用基板であって、バッファ層が二次元結晶からなるナノシート単層膜からなるものとする。この結晶成長用基板において、ナノシート単層膜は、層状化合物から剥離されたものとする。また、層状化合物は、層状酸化物、層状複水酸化物、層状リン酸塩、層状金属カルコゲナイト、および、層状ケイ酸塩からなる群から選択されるものとすることが好ましい。また、層状化合物は層状酸化物であり、ナノシート単層膜は、チタン酸ナノシート、層状ペロブスカイトナノシート、マンガン酸ナノシート、ニオブ/タンタル酸ナノシート、チタンニオブ酸ナノシート、ルテニウム酸ナノシート、および、タングステン酸ナノシートからなる群から選択されるものであることが好ましい。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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