薄膜の熱物性測定装置とこの測定装置を用いた熱伝導率と界面熱抵抗の測定方法

開放特許情報番号
L2011000497
開放特許情報登録日
2011/2/4
最新更新日
2015/10/8

基本情報

出願番号 特願2010-052533
出願日 2010/3/10
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2010-243482
公開日 2010/10/28
登録番号 特許第5598813号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 薄膜の熱物性測定装置とこの測定装置を用いた熱伝導率と界面熱抵抗の測定方法
技術分野 金属材料、無機材料、電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 測定感度、測定精度に優れ、金属、半導体等の分野で広く利用される。
目的 薄膜が金属であっても、またその厚さが数ミクロン以下であっても、熱伝導率と界面熱抵抗を測定する手段を提供する。
効果 薄膜の標準試料を必要とせずに、極めて薄い膜の熱伝導率と界面熱抵抗測定可能であると共に、完全な光学的手段による加熱・測温方式の採用により、金属膜に測定も可能になった。
技術概要
表面に薄膜を有する対象物の熱物性を調べる熱物性測定装置であって、対象物に対して、所定の周波数の交流ポンプ光を照射する加熱光照射手段と、ポンプ光の照射により生じた対象物表面の交流温度応答を測定するための、表面から反射するプローブ光の反射率を測定する手段と、その振幅と位相を測定する手段(ロックインアンプ)とを有する、熱物性測定装置である。尚、対象物の表面にある薄膜の熱伝導率と基板との間の界面熱抵抗を測定する方法であって、熱物性測定装置で得られた交流温度応答(振幅と位相)に基づき、対象物表面にある薄膜の熱伝導率と界面熱抵抗を求める。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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