反射型投影光学装置

開放特許情報番号
L2011000336
開放特許情報登録日
2011/1/28
最新更新日
2014/5/27

基本情報

出願番号 特願2009-152742
出願日 2009/6/26
出願人 国立大学法人東北大学
公開番号 特開2010-079257
公開日 2010/4/8
登録番号 特許第5489034号
特許権者 国立大学法人東北大学
発明の名称 反射型投影光学装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 物体とほぼ相似な光学像を像面上に投影、物体距離、結像倍率、焦点距離
目的 高分解能での観察には、拡大光学系の結像倍率が不足するという問題があり、シュワルツシルト光学系で容易に実現できる焦点距離は、作成可能な反射鏡の外径で制限され、10mm程度であり、このとき、1m程度の全長で実現できる結像倍率は最大で100倍程度であるため、試料上で10nmの空間分解能を得るには、2次元検出器には1μm以下の分解能が要求されるものの、この波長域で広く用いられる背面照射型CCDの最小画素サイズは10μm程度であり、1桁程度検出器の分解能が不足することの改善。
効果 対物鏡を顕微鏡本体から取り外すことなしに、波面収差を定量的に計測することができるため、温度変化や振動等の外乱により対物鏡を構成する反射鏡のアライメント誤差が増大し波面収差が劣化しても、逐次その大きさを定量的に把握することができ、対物鏡の再調整の要否を的確に判断することができるので、顕微鏡のダウンタイムを最小化することができる。
技術概要
この技術では、反射型投影光学装置は、試料面に向けられた凹面鏡と凹面鏡に対向して配置された凸面鏡とを組み合わせてなる対物光学系に、結像倍率を増大させるための付加光学系を結合してなる。また、反射型投影光学装置は、試料面を挟んで対向配置された一対の凹面鏡を組み合わせてなる対物光学系に、結像倍率を拡大させるための付加光学系を結合してなる。付加光学系は、対向配置された凹面鏡と凸面鏡とを組み合わせて成るアフォカル反射光学系であるとよい。また、付加光学系は、凹面鏡と凸面鏡を対向させて組み合わせた反射光学系であるとよい。付加光学系は、対向配置された一対の凹面鏡を組み合わせてなるアフォカル反射光学系であるとよい。アフォカル反射光学系の最終反射面となるべき凹面鏡の曲率半径は400乃至4000mmであるとよい。また、付加光学系が、対物光学系の像面近傍に配置された1つの反射面からなる反射光学系であるとよい。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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