酸化物中空粒子、その製造方法及び酸化物中空粒子製造装置

開放特許情報番号
L2011000297
開放特許情報登録日
2011/1/28
最新更新日
2011/1/28

基本情報

出願番号 特願2008-293788
出願日 2008/11/17
出願人 国立大学法人東北大学
公開番号 特開2010-120786
公開日 2010/6/3
発明の名称 酸化物中空粒子、その製造方法及び酸化物中空粒子製造装置
技術分野 無機材料
機能 機械・部品の製造、材料・素材の製造
適用製品 耐スパッタ性、電気絶縁性、熱伝導性、光学特性、光拡散効果、隠ぺい性、熱遮蔽効果
目的 サブマイクロオーダーやナノサイズを有している無機酸化物中空粒子、特には、球形金属酸化物単結晶中空サブマイクロ粒子や球形金属酸化物単結晶中空ナノ粒子を、簡単な方法で合成し且つ回収する技術の開発が求められ、特には、簡易的な製法でサブマイクロオーダーやナノオーダーサイズのMgO中空単結晶粒子を提供することの実現。
効果 気相反応のみの反応プロセスによって、中空金属酸化物単結晶粒子の生成が可能となる。また、放電プラズマやガス流を制御することによって均質な粒径分布や空洞径/粒径の比の制御が可能になる。サブマイクロオーダーやナノサイズを有している無機酸化物中空粒子、特には、球形金属酸化物単結晶中空サブマイクロ粒子や球形金属酸化物単結晶中空ナノ粒子を、簡単な方法で合成し且つ回収することができる。
技術概要
この技術では、平均直径が10nm〜1μmの中空球状の粒子であり、単結晶金属酸化物から構成された粒子である球形金属酸化物単結晶中空粒子とする。球形酸化物単結晶中空粒子、特には、球形金属酸化物単結晶中空粒子は、真空容器中に、金属酸化物源である金属の第一電極と放電空間を囲む絶縁板、そして、絶縁板の外面(放電空間に対して外側)に第二電極を備え、且つ、真空容器中への気体導入部を備えているスパッタリング装置を使用し、第一電極と第二電極間に変動電圧を与え、気体導入部より酸素を0.1%以上含む気体を導入して、プラズマ中で球形金属酸化物単結晶中空粒子を生成せしめることにより製造できる。混合ガスの酸素とアルゴンもしくは他の不活性ガスとの比を変えることによって、球形中空粒子の肉厚などの特性を調整可能である。また、球形粒子の直径などの特性を調節するのは、放電時間、及び/又は、ガス流速を調整してもよい。プラズマ中で生成された球形金属酸化物中空粒子を、ガス流を利用して下流へ輸送し、下流領域でフィルタもしくは回収機器で粒子を回収する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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