プラズマ発生装置およびプラズマ発生方法

開放特許情報番号
L2011000281
開放特許情報登録日
2011/1/28
最新更新日
2011/1/28

基本情報

出願番号 特願2006-283511
出願日 2006/10/18
出願人 国立大学法人東北大学
公開番号 特開2008-103141
公開日 2008/5/1
発明の名称 プラズマ発生装置およびプラズマ発生方法
技術分野 電気・電子、機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 高エネルギー密度、化学的高活性、滅菌、殺菌、医療プロセス、酸化膜や窒化膜の形成、材料プロセス、航空宇宙分野、燃焼促進
目的 従来のプラズマ発生装置は、10000K程度の高温でプラズマを発生させるため、複雑な冷却構造が必要となり、装置が大型になるという課題があり、また、電極に常時一定の電圧を印加するため、消費電力が3〜10kWと大きく、稼働時のコストが嵩むという課題があることに鑑み、小型化が可能で、消費電力を小さくして稼働時のコストを低減することの実現。
効果 パルス電圧を印加することによりプラズマを発生させるため、常時一定の電圧を印加する場合に比べて、消費電力を小さくでき、比較的低温でプラズマを発生させる。消費電力を小さくできるため、稼働時のコストを低減する。また、比較的低温でプラズマを発生可能であるため、例えば動作ガスや外気などで冷却でき、複雑な冷却構造が不要である。このため、小型化が可能であり、材料の耐熱性に対する対策も容易である。
技術概要
この技術では、プラズマ発生装置は、プラズマトーチとガス供給部とパルス電源とを有し、プラズマトーチは互いに間隔を開けて設けられた陽極と陰極とを有し、ガス供給部は陽極と陰極との間に動作ガスを供給可能に設けられ、パルス電源は陽極および陰極に接続され、陽極と陰極との間にパルスアーク放電を発生させて動作ガスをプラズマ化するよう、陽極と陰極との間にパルス電圧を印加可能に設けられている。なお、パルス電圧の印加とは、所定の周波数で電圧をパルス状に印加することである。また、パルスアーク放電とは、従来の連続放電とは異なり、パルス電圧を印加することにより、アーク放電が一定の周期で発生するものである。パルス電圧の高電圧時の電圧を高くすることにより、電子衝突が活発化し、動作ガスのプラズマ化により発生するラジカルの量を増やすことができる。また、パルス電圧のパルス幅を拡げることにより、ラジカルの量を増加させることができる。パルス電圧のパルス幅や周波数を変えることにより、消費電力を変化させることができる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT