シリコン酸化膜のパターニング方法

開放特許情報番号
L2011000057
開放特許情報登録日
2011/1/7
最新更新日
2014/10/22

基本情報

出願番号 特願2010-190367
出願日 2010/8/27
出願人 国立大学法人 宮崎大学
公開番号 特開2012-049343
公開日 2012/3/8
登録番号 特許第5594882号
特許権者 国立大学法人 宮崎大学
発明の名称 シリコン酸化膜のパターニング方法
技術分野 有機材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 シリコン酸化膜
目的 シリコン酸化膜を、簡便で低コストに、パターニングする方法を提供する。
効果 シリコン酸化膜のパターニングのためのフォトリソグラフィ工程を省くことができ、フォトリソグラフィの設備や工程にかかる大幅なコスト削減をし得る。それだけでなく、フォトリソグラフィ工程の排出する排出熱量および廃棄物が削減できるために、環境負荷も少なくし得る。
技術概要
基板上に油性インクのパターンを形成する工程と、油性インクのパターンが形成された基板上に有機ケイ素ポリマーを塗布する工程と、ホットプレート法により、基板上に形成された有機ケイ素ポリマーを酸化してシリコン酸化膜を形成すると共に、油性インクを分解することにより油性インクのパターン上のシリコン酸化膜を剥離し、油性インクのパターンとは逆のパターン形状を有するシリコン酸化膜のパターンを形成する工程と、シリコン酸化膜のパターンが形成された基板を洗浄して、分解した油性インクおよび剥離したシリコン酸化膜を除去する工程と、を有するシリコン酸化膜のパターニング方法である。ホットプレート法は、有機ケイ素ポリマーを塗布した基板を、プレート上で100〜400℃に加熱する工程と、加熱した基板をオゾン処理することにより、有機ケイ素ポリマーを酸化してシリコン酸化膜を形成すると共に、オゾンが有機ケイ素ポリマーを貫通し油性インクを分解することにより油性インクのパターン上のシリコン酸化膜を剥離する工程と、を有する。基板をホットプレート法によりシリコン酸化膜を形成した段階で、肉眼で観察したときのデジタルカメラによる撮像を示す図である。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 シリコン酸化膜のパターニング工程は簡単かつ短時間になり、製品の生産効率が向上でき、かつ、微細加工が可能であって、大量生産に適している。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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