除振装置及び除振方法

開放特許情報番号
L2010006137
開放特許情報登録日
2010/12/3
最新更新日
2010/12/3

基本情報

出願番号 特願2006-541533
出願日 2006/7/3
出願人 国立大学法人埼玉大学
公開番号 WO2007/007580
公開日 2007/1/18
発明の名称 除振装置及び除振方法
技術分野 機械・加工
機能 免振・制振
適用製品 除振装置、除振方法、半導体デバイス製造システム
目的 地動外乱及び直動外乱による振動の除振が可能であって、且つ、広い荷重範囲に渡ってゼロコンプライアンスを実現できる、低コストの除振装置の提供。
効果 この技術の除振装置は、地動外乱及び直動外乱による振動の除振が可能であり、また、広い荷重範囲に渡ってゼロコンプライアンスを実現することができ、高い信頼性を有している。また、この装置は低コストで製作することができる。
技術概要
この技術では、除振装置は、除振対象物を支持する支持機構が、アクチュエータを備えた能動型の第1の支持機構と、第1の支持機構と直列に配置された受動型除振が可能な低剛性の第2の支持機構と、第2の支持機構の変位を測定する測定手段とを有し、第1の支持機構のアクチュエータの変位を、測定手段の測定結果に基づいて第2の支持機構の変位を相殺するように制御する。第1の支持機構と第2の支持機構とは、第1の支持機構の上方に第2の支持機構が位置するように、垂直方向に直列に配置することができる。また、第1の支持機構と第2の支持機構とを、第2の支持機構の上方に第1の支持機構が位置するように、垂直方向に直列に配置してもよい。また、第1の支持機構と第2の支持機構とを水平方向に直列に配置することもできる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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