目的
面積ディスプレイや面光源等の有機ＥＬ素子用の膜厚均一な大面積有機材料塗布方法及び装置を提供する。
効果
面積ディスプレイや面光源用としての大面積有機材料塗布方法及び装置を提供することができ、有機ＥＬ材料をスジむらやフォトルミネセンスむらが無い、均一で極薄膜の素子を提供できる。
技術概要
溶液化された有機ＥＬ材料をスジむらやフォトルミネセンスむらが無く均一で、極薄膜と言われる１００ｎｍ±２ｎｍの膜厚を得るため、溶液化された有機ＥＬ材料を含ませたローラー等の塗布装置に振動装置を利用して上下又は左右に振動させ、被塗布試料を載せたステージを必要塗布料に応じて塗布装置に対してスイープさせることで、溶液化された有機ＥＬ材料を含ませたローラー等の塗布装置に被塗布試料を圧着させながら均一に有機ＥＬ材料を塗布させる方法及び装置である。振動させる手段は、振動装置によるものであって、その振動数が３ｋＨｚ〜１０ｋＨｚである。好ましくは振動装置の振幅は、２ミクロン程度である。振動装置の移動速度は、１０ｃｍ／ｓｅｃである。図に示すこの装置は、溶液化された有機ＥＬ材料を含ませた回転ローラーを固定し、ピエゾ素子等を用いた振動装置を利用して振動数が３ｋＨｚ、６ｋＨｚ及び１０ｋＨｚとし、振幅が２ミクロン程度にて上下に振動させる台に被塗布材料を載せた被塗布装置、被塗布材料を載せたステージを必要塗布量に応じて固定された回転ローラーに対して１０ｃｍ／ｓｅｃで平行移動させる。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
