有機EL材料薄膜の形成および装置

開放特許情報番号
L2010006082
開放特許情報登録日
2010/11/26
最新更新日
2012/3/2

基本情報

出願番号 特願2007-023795
出願日 2007/2/2
出願人 国立大学法人富山大学
公開番号 特開2008-153185
公開日 2008/7/3
登録番号 特許第4910144号
特許権者 国立大学法人富山大学
発明の名称 有機EL材料薄膜の形成および装置
技術分野 電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 有機EL材料薄膜の形成装置
目的 面積ディスプレイや面光源等の有機EL素子用の膜厚均一な大面積有機材料塗布方法及び装置を提供する。
効果 面積ディスプレイや面光源用としての大面積有機材料塗布方法及び装置を提供することができ、有機EL材料をスジむらやフォトルミネセンスむらが無い、均一で極薄膜の素子を提供できる。
技術概要
溶液化された有機EL材料をスジむらやフォトルミネセンスむらが無く均一で、極薄膜と言われる100nm±2nmの膜厚を得るため、溶液化された有機EL材料を含ませたローラー等の塗布装置に振動装置を利用して上下又は左右に振動させ、被塗布試料を載せたステージを必要塗布料に応じて塗布装置に対してスイープさせることで、溶液化された有機EL材料を含ませたローラー等の塗布装置に被塗布試料を圧着させながら均一に有機EL材料を塗布させる方法及び装置である。振動させる手段は、振動装置によるものであって、その振動数が3kHz〜10kHzである。好ましくは振動装置の振幅は、2ミクロン程度である。振動装置の移動速度は、10cm/secである。図に示すこの装置は、溶液化された有機EL材料を含ませた回転ローラーを固定し、ピエゾ素子等を用いた振動装置を利用して振動数が3kHz、6kHz及び10kHzとし、振幅が2ミクロン程度にて上下に振動させる台に被塗布材料を載せた被塗布装置、被塗布材料を載せたステージを必要塗布量に応じて固定された回転ローラーに対して10cm/secで平行移動させる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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