表面情報取得装置及び表面情報取得方法

開放特許情報番号
L2010006072
開放特許情報登録日
2010/11/26
最新更新日
2012/3/2

基本情報

出願番号 特願2006-187102
出願日 2006/7/6
出願人 国立大学法人富山大学
公開番号 特開2008-015280
公開日 2008/1/24
登録番号 特許第4910131号
特許権者 国立大学法人富山大学
発明の名称 表面情報取得装置及び表面情報取得方法
技術分野 その他
機能 検査・検出
適用製品 表面情報取得装置
目的 試料表面において液体等が流動している場合であっても表面情報を取得することが可能な表面情報取得装置及び表面情報取得方法を提供する。
効果 試料表面において液体等が流動している場合であっても表面情報を取得することが可能な表面情報取得装置及び表面情報取得方法を提供できる。
技術概要
試料Sの表面上方においてプローブ粒子Pを浮遊させ、この浮遊しているプローブ粒子の像を撮像して得られたプローブ画像に基づいて試料Sの表面情報を取得する表面情報取得装置1Aであって、プローブ画像におけるプローブ粒子の大きさを規定する測定値を求める大きさ規定値特定手段と、プローブ画像におけるプローブ粒子の大きさを規定する値と基準面からのプローブ粒子の距離との関係を示す校正データと、大きさ規定値特定手段で求められた測定値と、に基づいてプローブ粒子の基準面からの位置情報を取得する位置情報取得手段と、プローブ粒子の位置情報に基づいて試料の表面情報を取得する表面情報取得手段と、を備える。試料及びプローブ粒子は、同符号で荷電している。プローブ粒子は球体である。プローブ粒子を照射する光を出力する光源をさらに備える。画像処理装置10は、予め格納されたプローブ画像におけるプローブ粒子Pの大きさを規定する値である直径とプローブ粒子Pの試料S表面からの距離との関係を示す校正データと撮像装置4によって撮像されたプローブ粒子Pの直径とに基づいて、プローブ粒子Pの位置情報を得る。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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