中空チューブの作製方法、中空チューブおよび中空チューブを用いた装置

開放特許情報番号
L2010005916
開放特許情報登録日
2010/11/12
最新更新日
2010/11/12

基本情報

出願番号 特願2006-037711
出願日 2006/2/15
出願人 国立大学法人豊橋技術科学大学
公開番号 特開2007-216325
公開日 2007/8/30
発明の名称 中空チューブの作製方法、中空チューブおよび中空チューブを用いた装置
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 MEMS、微小電気機械システム、シリコン半導体基板、三次元構造
目的 基板上に中空チューブとは別材料の柱体を形成し、この柱体を犠牲層として用いることで、微小な中空チューブを作製することのできる作製方法の提供。
効果 この技術によれば、被覆層とは異なる材料の柱体を基板上から除去することで、被覆層による中空チューブを作製することができる。従って、中空チューブが基板とは別部材の被覆層によって構成されるため、中空チューブの長さを基板の厚さによらず、所望の長さとすることができる。
技術概要
この技術の中空チューブ作製方法は、基板上に柱体を形成する工程と、柱体とは異なる材料の被覆層を、柱体の周囲に形成する工程と、柱体の先端部の被覆層を除去し、柱体の先端部を外部に露出させる工程と、柱体を基板上から除去する工程と、からなる。この作製方法によれば、被覆層とは異なる材料の柱体を基板上から除去することで、被覆層による中空チューブを作製することができる。また、中空チューブが基板とは別部材の被覆層によって構成されるため、中空チューブの長さを基板の厚さによらず、所望の長さとすることができる。更に、この技術の中空チューブは、柱体の周囲に形成された被覆層より構成されるものであるため、中空チューブの厚さを所望の厚さとすることができ、中空チューブの厚さは、柱体の周囲の被覆層の厚さを変えることで適宜変更することができる。また、中空チューブの内径は、柱体の外径の大きさを変えることにより所望の内径の中空チューブを作製することができる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【有】   
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