有機半導体薄膜の製造方法

開放特許情報番号
L2010005890
開放特許情報登録日
2010/11/12
最新更新日
2015/10/1

基本情報

出願番号 特願2010-182945
出願日 2010/8/18
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2012-043926
公開日 2012/3/1
登録番号 特許第5686403号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 有機半導体薄膜の製造方法
技術分野 情報・通信、電気・電子、有機材料
機能 表面処理、材料・素材の製造、機械・部品の製造
適用製品 有機半導体薄膜
目的 この発明は、単成分の有機分子からなる有機半導体薄膜を、印刷法により製造するに際し、均質な有機半導体薄膜の製造方法を提供する。
効果 この発明によれば、溶媒の蒸発と析出が同時に生じることによる液滴外縁部での凝集化を回避することができるため、100μm以上×100μm以上の広い面積にわたって均一な膜質と膜厚を有する有機半導体層の作製が可能になる。これにより、優れたデバイス特性を示す有機半導体装置を印刷法によって真空なしに構築することが可能になり、安価かつ大量生産に向いた製造工程への利用が可能となる。
技術概要
有機エレクトロニクスの大きな特長のひとつは、真空を要さない溶液プロセスにより電子デバイスを作製することが可能な点にある。このため、製品サイズの大面積化に伴い大規模な真空装置や高温装置などに高いコストがかかる従来の無機系半導体デバイスと比べ、有機半導体を有機溶媒等に高濃度に溶解させたインクを介する印刷技術により、省エネルギーかつ低コストで大面積のフラットパネルディスプレイや電子ペーパーを製造することが可能になる。しかし、高分子系と比べて高いデバイス特性が得られる低分子系の有機半導体では、溶液の粘性が低いこと、また低分子系の有機半導体が高い結晶性を示すことなどのため、均質な半導体層を形成することが困難であった。この発明は、有機半導体に親和性の高い有機溶媒にその有機半導体を高濃度に溶解して得た第1のインクと、その有機半導体に親和性の低い有機溶媒からなる第2のインクを用意する工程と、第1及び第2のインクを各インクヘッドから同時又は交互に吐出させ基板上で混合する工程とを含む有機半導体薄膜の製造方法である。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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