走査型プローブ顕微鏡用化合物半導体カンチレバー、及びその製造法

開放特許情報番号
L2010005626
開放特許情報登録日
2010/10/8
最新更新日
2010/10/8

基本情報

出願番号 特願2006-340694
出願日 2006/12/19
出願人 国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学
公開番号 特開2008-151673
公開日 2008/7/3
発明の名称 走査型プローブ顕微鏡用化合物半導体カンチレバー、及びその製造法
技術分野 電気・電子、化学・薬品
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 走査型プローブ顕微鏡用化合物半導体カンチレバー
目的 化合物半導体で一体成型したカンチレバー(チップ+ビーム+台座)、または化合物半導体で作製したプローブ(チップ+ビーム+小台座)とセラミクス等で作製した大台座を複合化して製造するカンチレバーを、高機能、又は多機能で高い精度、均一性、歩留まり、信頼性をもつ走査プローブ顕微鏡用、又はセンサー用カンチレバーとして安価に提供する。
効果 化合物半導体を一体成型してカンチレバー(チップ+ビーム+台座)を形成する方法により、または化合物半導体で作製したプローブ(チップ+ビーム+小台座)とセラミクス等で作製した大台座を複合化する方法により、高精度、高均一で歩留まりの良い走査プローブ顕微鏡用、又はセンサー用カンチレバーを安価に製造・提供することが容易となる。
技術概要
図1は化合物半導体を一体成型する方法で作製する走査プローブ顕微鏡用、又はセンサー用カンチレバーの構造、及び利用方法を示す。チップ1はビーム2、台座3とともに各種半導体からエッチング等を利用した一体成型法により作製される。走査プローブ顕微鏡応用では、台座3を用いて走査プローブ顕微鏡装置に固定しチップ1を試料表面に近づけて走査したとき(黒矢印)に受ける様々な力によりビーム2のたわみの大きさ、或いは固有振動数、又は位相の変化(赤矢印)により、表面の様々な物性を解析する。またセンサー応用では、台座3を用いてセンサー回路に固定、接続し、検出する物質がチップ1、またはビーム2に付着することによるビームの共振周波数が変化することにより検出する物質の定量を行う。図2は、プローブ(チップ+ビーム+小台座:赤色部分)を化合物半導体で作製し、大台座(水色部分)をセラミクスなどで作製して両者を複合化することにより製造する、走査型プローブ顕微鏡用、またはセンサー用化合物半導体・セラミクス複合カンチレバーの構造及び利用方法を示す。図3は製造方法を示す図である。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【改善】
改善効果1 カンチレバー全体(チップ+ビーム+台座)、またはプローブ(チップ+ビーム+小台座)を作製する半導体として、異方性エッチング技術を主とする半導体プロセス技術を応用すれば、様々な機能を示す各種化合物半導体を用いることが可能となり、高機能、又は多機能で高い信頼性をもつカンチレバーを安価に製造・提供することが可能となる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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