走査型プローブ顕微鏡用半導体・セラミックス複合カンチレバー

開放特許情報番号
L2010005625
開放特許情報登録日
2010/10/8
最新更新日
2010/10/8

基本情報

出願番号 特願2006-309313
出願日 2006/11/15
出願人 国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学
公開番号 特開2008-122330
公開日 2008/5/29
発明の名称 走査型プローブ顕微鏡用半導体・セラミックス複合カンチレバー
技術分野 電気・電子、化学・薬品
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 走査型プローブ顕微鏡用半導体・セラミックス複合カンチレバー
目的 シリコン、または化合物半導体で作製したプローブ(チップ+ビーム+小台座)とセラミックス等で作製した台座を複合化して製造するカンチレバーを、高機能、又は多機能、かつ高い精度、均一性、歩留まり、信頼性をもつ走査プローブ顕微鏡用、又はセンサー用カンチレバーとして安価に提供する。
効果 半導体で作製したプローブ(チップ+ビーム+小台座)とセラミックス等で作製した台座を複合化して走査プローブ顕微鏡用、又はセンサー用カンチレバーを安価に製造・提供することが容易となる。また、異方性エッチング技術を主とする半導体プロセス技術を応用すれば、プローブ(チップ+ビーム+小台座)を作製する半導体としてシリコン以外の適切様々な化合物半導体を用いることが可能となり、高機能、又は多機能で高い信頼性をもつカンチレバーを安価に製造・提供することが可能となる。
技術概要
図1は走査型プローブ顕微鏡用半導体・セラミックス複合カンチレバーの構造及び利用方法を示す。チップ1、ビーム2、小台座3は各種半導体からエッチング等を利用した一体成型法によりプローブとして作製される。大台座4はセラミックス、又はガラス、又は水晶を加工することにより作製され、一体成型されたプローブ(1+2+3)と大台座4は小台座3と大台座4を接着剤等により張り合わせるか、又は高温で液体化するガラス、又は金属を間に挟んで圧着することにより複合化する。この複合化により完成されたカンチレバーは、図1中の矢印に示すようにチップ1の先端を観察したい物質表面から一定の距離(縦矢印で示すような微小な振動も含む)をおいた平行平面内で走査し、それに伴う表面との各種相互作用力を検出することにより表面の解析を行う。相互作用力が原子間力、又は摩擦力の時には絶縁性の半導体により作製したチップを用いる。相互作用力が磁気力のときには、磁性膜を被覆したチップ、又は磁性半導体により作製したチップを用いる。この場合、走査に付随して試料表面を局所的に光で照射したり、試料表面からの光信号を局所的に収集・検出できる。図2は製造方法を示す。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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